판매용 중고 ASML AT-1150C #9226883

ASML AT-1150C는 MEMS, QFN 및 LED 패키지와 같은 소형 반도체 장치의 생산을 위해 설계된 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 5.5 인치 시야를 특징으로하며, 이는 이미지 충실도가 높은 가장 복잡한 구조의 이미징을 가능하게합니다. 스테퍼 기반 회절 감소와 함께 0.60의 높은 수치 조리개 (NA) 를 갖는 5 배 감소 광학은 전체 시야에서 1.3 미크론의 해상도를 초래한다. 시스템은 Optics Unit, Controller 및 Pattern Generator의 세 가지 구성 요소로 그룹화됩니다. Optics Machine은 공간 필터, 스테이지, 오브젝티브 렌즈, 조명기 및 정렬기로 구성됩니다. 스테이지는 컨트롤러에 연결되어 있으며, 오브젝티브 렌즈 (objective lens) 아래의 샘플을 정확하게 정렬하는 데 사용됩니다. [정렬] 은 이미징 도구의 정확한 위치를 지정하기 위해 오브젝티브 렌즈의 각도 방향을 조정하는 데 사용됩니다. 컨트롤러 (Controller) 는 전체 자산을 제어하고 관리하는 데 사용되며, 생성된 패턴을 저장하는 데 사용됩니다. 모델의 패턴 생성기 (Pattern Generator) 컴포넌트는 레이저 소스를 기반으로 하고 고해상도 패턴을 생성합니다. 전체 시야에서 0.5 미크론의 해상도로 회절 제한 이미지를 생성 할 수 있습니다. 이 기능은 5X 감소 이미징 및 High NA 옵틱과 함께 이미지 충실도가 높은 복잡한 구조를 생성하는 데 이상적입니다. 이 장비는 사용자 정의가 용이하며, 여러 렌즈, 온도 컨트롤러, 다양한 측정 장치 등의 다양한 옵션으로 구성할 수 있습니다. 또한 마스크 정렬 및 패턴 생성을 위해 업계 표준 소프트웨어와 통합됩니다. 이 시스템에 사용되는 기술은 고급적이고 신뢰성이 뛰어납니다. 이 장치는 non-stop을 실행하도록 설계되었으며 유지 보수 비용이 저렴합니다. 이 기계 는 수율 이 높으며, 다양 한 형태 의 우월 한 "이미지 '를 만들어 낸다. 요약하면, ASML AT 1150C (ASML AT 1150C) 는 세계 최고 수준의 웨이퍼 스테퍼 툴로, 매우 정확하고 고품질 이미지를 생산하도록 특별히 설계되었습니다. 고급 옵틱 (Optic), 고해상도 패턴 생성기 (Pattern Generator) 및 다양한 맞춤형 기능을 통해 복잡한 구조물의 생산에 이상적인 선택이 가능합니다.