판매용 중고 ASML AT-1150C #293617267
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ASML AT-1150C는 반도체 작업에 사용되는 기계 인 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체 소자의 패턴을 제작하는 데 사용되는 사진의 일종인 리소그래피 (lithography) 를 수행하도록 설계되었습니다. ASML AT 1150C는 시간당 최대 150 개의 웨이퍼를 처리하여 2 인치 및 6 인치 직경의 웨이퍼를 처리하도록 설계된 완전 자동화 장비입니다. FPD-LBA 초점 및 정렬 하위 시스템, 재생성 포지셔닝 시스템이 특징입니다. AT: 1150C에는 스텝 모터 (stepper motor) 와 표준 머신 비전 (machine-vision) 알고리즘이 장착되어 있어 웨이퍼 정렬 표시를 감지하고 시퀀싱을 위해 웨이퍼를 정확하게 배치합니다. 이 기계는 또한 자동 포커싱 제어 (focusing control) 를 제공하여 자동 레티클 교환 기능뿐만 아니라 웨이퍼 정렬에 초점을 맞춘 포토 마스크 (photomask) 를 제공합니다. AT-1150 C는 탁월한 이미지 품질을 제공하면서 노출 비용과 처리 시간을 줄여줍니다. 고속 옵티컬 유닛 (optical unit) 과 컴퓨터 제어 레티클 전진 머신 (computer-controlled reticle advances machine) 이 특징이며, 둘 다 다중 노출을 실행할 때 정확성을 보장합니다. 또한 단일 및 동기화 된 작업에서 최대 50 개의 웨이퍼를 적재 할 수있는 자동 카세트 도구 (Automatic Cassette Tool) 가 있습니다. 이 기계에는 또한 실시간 모니터링을위한 통합 웨이퍼 검사 자산 (가변 스캔 크기 및 해상도) 이 포함되어 있습니다. 또한, 이 기계는 ASML Quality and Reliability Program의 요구 사항을 준수하므로 뛰어난 성능을 보장합니다. 결론적으로, AT 1150C는 뛰어난 이미지 품질, 높은 처리량, 낮은 운영 비용을 제공하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 카세트당 최대 50 개의 웨이퍼와 호환되며, 자동 정렬 및 초점 제어 (focus control) 및 통합 웨이퍼 검사 (wafer inspection) 를 위한 고급 기능이 포함되어 있습니다. 시간당 최대 150 개의 웨이퍼를 처리하고 ASML 안정성 프로그램을 준수함으로써 최적의 품질과 성능을 보장합니다.
아직 리뷰가 없습니다