판매용 중고 ASML AT 1150 #293664233

ASML AT 1150 (ASML AT 1150) 은 제조업체가 전자 산업을위한 미니어처 회로 부품을 만들 수 있도록 지원하는 최고의 웨이퍼 스테퍼입니다. "스테퍼 '는 이 생산 과정 에 사용 되는" 웨이퍼' 의 표면 에 "패턴 '을 자동적 으로 정확 하게 노출 시킬 수 있다. 이 "스테퍼 '는 매우 정밀 하게 작동 하여" 칩' 이나 "마이크로프로세서 '와 같은 제품 에 사용 되는 회로 와 부품 을 위한 상용 생산선 의 필수적 인 부분 이다. 이 장비는 트윈 'Nipkow' 디스크와 DUV (deep ultraviolet) 광원을 기반으로 고도의 2 단계 광학 시스템을 중심으로 구축되었으며, 최대 해상도는 4.5 나노미터이며 웨이퍼에 매우 작은 패턴을 만들 수 있습니다. 결과적으로, 스테퍼의 석판 출력은 매우 고품질입니다. 스테퍼는 또한 저소음 플랫폼으로 작동하며, 고정도 선형 모터 스테이지 세트를 사용하여 노출 단계 사이에서 X 축, Y 축, Z 축의 웨이퍼를 이동합니다. 이를 통해 다양한 구조 수준을 정확하고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 또한 Z축 이동에 대한 매개변수, 노출 시간, 여러 정렬 수준 등과 같은 다양한 디지털 제어 함수 (digital control function) 세트도 포함됩니다. 판독기는 웨이퍼의 둘레, LWD (Line Width Doubling) 검사, 초점 감지 및 공중 이미징을 배열한 정렬 표시를 측정하여 프로세스 결과를 평가하고 특성화할 수 있습니다. 전체 레티클 변환 기능을위한 인덱서 (Indexer for full reticle translation) 기능은 전체 웨이퍼 모양과 크기에 걸쳐 탁월한 스캔 노출에 사용할 수 있습니다. 또한, AT 1150은 광범위한 장치 안전 기능을 갖추고 있으며, 다중 레벨 암호 보호 시스템을 제공합니다. 이 모든 것이 ASML AT 1150을 메모리 웨이퍼, 논리 웨이퍼, DRAM 웨이퍼, 비휘발성 메모리 웨이퍼 및 기타 고급 회로의 대용량 생산에 최적의 선택으로 만듭니다.