판매용 중고 ASML AT 1100 #293813215

ASML AT 1100 (ASML AT 1100) 은 반도체 제조 공정에서 실리콘 웨이퍼로 회로 패턴을 전달하는 데 사용되는 석판 공구의 한 유형입니다. 여러 개의 광 기능 (예: 노출, 정렬, 이미징 및 스테이지 이동) 을 단일 머신에 결합합니다. 이것은 균일성, 정밀도, 속도 측면에서 우수한 결과를 제공하는 고도의 고급 마이크로 리소그래피 (micro lithography) 기술의 예입니다. AT 1100 은 모듈식 (modular) 설계를 통해 다양한 시스템을 신속하게 구성하고 배포할 수 있습니다. 최대 10 x 10mm 크기의 필드 사이즈 (field size) 로 작동하여 모든 유형의 웨이퍼에 대해 높은 생산성과 정밀도를 제공합니다. 스테퍼의 고정밀 기능 및 ASML에 의한 독점 기술 사용 (Use of Proprietary Technologies by ASML) 은 최대 0.17 마이크로미터의 가장 작은 세부 사항의 사진 해상도를 보장합니다. 이를 통해 고객은 더 작고 빠른 nanodevices를 만들 수 있습니다. ASML AT 1100에는 교정, 카트리지 제어, 모터 드라이브 등 다양한 자동 기능이 장착되어 있습니다. 이로 인해 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 설정 및 운영에 소요되는 비용과 시간이 줄어듭니다. 또한 "이미징 레시피" 라고하는 모든 장치 매개 변수를 고급 제어할 수 있습니다. 이미징 레시피 (Imaging Recipe) 는 작업 간에 조정되는 광학 프로세스 매개변수의 자동화된 구성으로, 제조 공정에서 사용자에게 더 많은 유연성을 제공합니다. 또한 AT 1100에는 안전하고 안정적인 작동을 보장하는 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 높은 수준의 자동화에는 긴급 정지 시스템 (Emergency-Stop System) 이 포함되어 있으며, 스캐닝 동작을 몇 밀리초 이내의 활성화와 함께 스캐닝 동작을 멈출 수 있습니다. 자동 시작 (start-up) 및 안전 (safety) 시스템은 매우 민감한 환경에서도 시스템을 원격으로 모니터링하고 작동할 수 있음을 의미합니다. 전체적으로 ASML AT 1100 웨이퍼 스테퍼는 반도체 생산 및 연구에 사용되는 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 모듈식 설계, 고해상도 (High Resolution) 기능, 자동화된 기능을 통해 효율적이고 비용 효율성이 높으며, 고급 집적회로 생산에서 경쟁 우위를 확보할 수 있습니다.