판매용 중고 ASML 700 #293760259
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ASML 700 (ASML 700) 은 반도체 산업에서 대용량 웨이퍼 생산을 위해 정확한 광석기 인쇄를 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비의 정확성과 반복성 (repeatability) 은 소형 형상 (small geometry) 기능과 고급 시스템 컴포넌트에 이상적인 선택입니다. 700 은 정확도가 높은 1.0 미크론 (micron) 의 작은 기능을 인쇄 할 수있는 정밀 리소그래피 유닛입니다. 스텝퍼 (stepper) 에 내장된 고급 정렬 및 측정 머신 (Advanced Alignment and Measurement Machine) 은 노출과 마스크를 빠르고 정확하게 정렬하여 높은 정확성과 반복성을 유지합니다. 이렇게 하면 스테퍼가 인쇄한 피쳐의 크기와 모양이 서로 다른 웨이퍼 (wafer) 간에 일관됩니다. ASML 700에는 대형 고해상도 마스칼리너 (Maskaligner) 가 있는데, 이를 통해 마스크를 웨이퍼를 통해 동기화된 단계로 이동하여 노출을 정확하게 오버레이합니다. "웨이퍼 '는 인쇄 과정 전체 에 걸쳐 완벽 하게 유지 하기 위하여 진공 상태 에 있게 된다. 과잉 수정 (overscan correction) 과 안티라이트블 (anti-lightbleed) 메커니즘이 스테퍼에 내장되어 있으므로 용도 영역 외의 모든 노출이 최고 정확도로 취소됩니다. 이 도구는 고급 스캐너 및 이미징 시스템을 사용하여 웨이퍼의 중요한 형상 매개변수 (예: 크기, 모양) 를 안전하고 정확하게 측정합니다. 그런 다음 이 데이터 (data) 를 분석하여 웨이퍼 (wafer) 가 매개변수 내에 있고 전체 프로세스 전체에서 지정된 정밀도 (level of accuracy) 로 유지됩니다. 700에는 스테퍼의 모션 제어 (motion control) 메커니즘에 의해 실행되는 상세한 프로세스 명령 및 프로그램을 입력할 수 있는 소프트웨어 (software) 기반 도구도 함께 제공됩니다. 이는 가장 복잡한 프로세스와 석판화 패턴 (lithography pattern) 이라도 최고 정도의 정확도와 반복성으로 인쇄 될 수 있도록 합니다. 또한, 고급 소프트웨어 (advanced software) 를 사용하면 인쇄 전에 다양한 프로세스 시뮬레이션을 수행하여 가장 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로 ASML 700 (ASML 700) 은 반도체 산업에서 대용량 웨이퍼 생산을 위해 정확하고 반복 가능한 리소그래피 인쇄를 제공하는 다양한 기능을 갖춘 강력하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼입니다. 자산의 고급 제어 소프트웨어 (Advanced Control Software) 와 효율적인 정렬 메커니즘은 가장 까다롭고 복잡한 장치에서도 매우 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다.
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