판매용 중고 ASML 5500 / 60 #9092942

ASML 5500/60은 반도체 생산에서 사진 식단에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체 칩 표면에 집적 회로 (integrated circuit) 및 기타 현미경 (microscopic) 기능을 형성하는 데 사용되는 매우 정밀하고 자동화된 이미징 장치입니다. 기계 는 기본적 으로 "웨이퍼 '기판 에 회로 와 기타" 패턴' 을 정확 하게 노출 시키는 데 사용 되는 거대 한 현미경 이다. 광마스크 (Photomask) 는 주제 웨이퍼 위에 정렬되고 초점을 맞추고 석영 광학 창을 통해 광원에 선택적으로 노출됩니다. 이러한 패턴을 생산하는 데 필요한 정밀도는 복잡한 정렬과 엄청난 정확성이 필요하며, 5500/60 (5500/60) 에는 이를 달성하기 위해 다양한 기술이 장착되어 있습니다. ASML 5500/60에는 압전 직선 스테이지 메커니즘이 장착되어 있으며, 미크론 수준의 해상도로 부드러운 선형 운동을 제공합니다. 인코더 지원 스테이지 컨트롤러, 간섭계 레벨 스테핑, 광전자 초점 감지 (optoelectronic focus detection) 등 여러 가지 보상 방법과 센서가 정밀 이동을 가능하게하며, 모두 기계가 웨퍼에 패턴을 정확하게 전달 할 수 있습니다. 또한 "마스크 '를" 웨이퍼' 와 비교 하여 정확 한 위치 를 유지 하는 자동 정렬 장치 가 갖추어져 있다. 처리를 위해, 5500/60은 다양한 광원, 수치 조리개, 노출 시간을 특징으로하며, 쉽게 구성하고 조정할 수 있습니다. 기계는 기판 표면에 평행하게 움직이는 특수 층류 단계 (specialized laminar stage) 를 갖추고 있으며, 수평 (levelness) 을 높이고 광학이 가변 돌출에 대해 다른 깊이를 통과 할 수 있습니다. 또한 ASML 5500/60 에는 긴급 차단 시스템 (Emergency Shut-off System) 과 자동 검색 기능 (Auto-Retrieval Feature) 과 같은 강력한 안전 기능이 장착되어 있어 웨이퍼 전송에 방해가 될 수 있습니다. 다른 기능으로는 그래픽 사용자 인터페이스, 내장 인슐레이션 (insulation) 및 환경 제어, 활성 진동 감소, 향상된 품질 제어를 위한 노출 후 이미지 분석 등이 있습니다. 결론적으로, 5500/60은 반도체 칩 표면에 집적 회로 및 기타 미세한 특징을 형성하는 데 사용되는 다재다능하고 정확한 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 정교한 동작, 정렬, 안전 기능을 갖추고 있으며, 모두 매우 효율적이고 협업 적 인 석판 처리 (lithography process) 를 허용합니다.