판매용 중고 ASML 5500 / 100 #9040162

ASML 5500/100은 컴퓨터 칩 생산에 사용되는 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. "마스크 '나" 레티클' 에서 "웨이퍼 '로 정밀 한 정보 전달 을 가능 케 하는 것 이다. 이 장치는 사용자의 개입을 최소화하면서 정보를 정확하고 일관되게 전송할 수 있으며, 반도체 (semi-conductor) 구성요소의 고품질 및 효율적인 생산이 가능합니다. ASML 5500/100은 기울기 및 롤로 2 축 운동만을 희생하는 6 개의 독립적 인 동력 구성 요소가있는 기계를 갖춘 6 축 설계를 사용합니다. 이를 통해 기판을 부드럽게 이동하고, 이미징 위치를 대상으로, 그 어느 때보다 빠르게 이동할 수 있습니다. 최대 300mm 기판을 처리 할 수 있으며, 이미지 크기는 최대 6.2mmx6.2mm입니다. 이 도구의 최대 시야는 0.7um x 0.7um이며, 해상도는 0.1um입니다. 이 자산은 광학 이미징, 광학 패턴, 마스크 정렬 등의 고정밀 광학 서비스를 제공합니다. 광학 이미징 (Optical Imaging) 을 사용하면 한 기판에서 다른 기판으로 이미지를 전송할 수 있으며, 광학 패턴화는 패턴 정보의 연속적이고 정밀도가 높은 추적 기능을 제공합니다. 고정밀 마스크 정렬 기능을 통해 패턴이 정확하게 재생성됩니다. 이 모델은 광학 서비스 (Optical Services) 외에도 노출 제어 서비스 (Exposure Control Services) 를 제공하여 마스크 또는 레티클을 기판에 정확하고 일관되게 노출 할 수 있습니다. 장비는 여러 가지 유형의 파면 센서를 사용하여 파면 (wavefront) 의 수차 및 왜곡을 감지하여 노출 과정에서 수정 (correction) 을 허용합니다. 전체적으로 5500/100은 고급 웨이퍼 스테퍼 시스템으로, 고정밀 광 서비스 및 노출 제어 기능을 제공 할 수 있습니다. 한 기판에서 다른 기판으로 이미지를 정확하게 전송할 수 있으므로, 최소 사용자 개입으로 반 도체 (semi-conductor) 컴포넌트를 일관되게 생성할 수 있습니다.