판매용 중고 ASML 4022-436-46005 #172297

ID: 172297
Wafer and reticle stage rack.
ASML 4022-436-46005는 집적 회로 생산 응용 프로그램을 위해 설계된 최고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 자동 6 축 컨트롤러와 정밀 선형 스케일을 사용하여 플랫 웨이퍼를 높은 정밀도로 배치 할 수있는 8 인치 웨이퍼 정렬 머신 (wafer alignment machine) 입니다. 이 "머신 '의 힘 과 정확성 을 통해 집적" 서킷' 의 대량 생산 에 중요 한 역할 을 할 수 있으며, 그것 은 "웨이퍼 '에 각 회로 의 정확 한 배치 를 보장 해 준다. 4022-436-46005에는 정밀도가 높은 광학 장비가 있으며, 0.5 미크론까지 거리를 측정 할 수 있으며 전력 중심의 이온 빔 리소그래피 시스템이 있습니다. 웨이퍼 (wafer) 는 스테이지에 배치되고 스테퍼는 서피스의 평탄도를 측정하고 정렬 계산을 자동으로 수행합니다. 그런 다음 "로봇 '팔 은 이러 한 계산 에 따라" 웨이퍼' 를 원하는 위치 로 이동 시킨다. 돌출 된 이온 빔 (ion beam) 은 웨이퍼 표면을 가로 질러 스캔되면서 반복해서 꺼지고 켜집니다. 전자 설계 자동화 소프트웨어 (electronic design automation software) 에 의해 생성 된 패턴을 정확하게 재생산하기 위해 빔을 변조합니다. ASML 4022-436-46005는 또한 웨이퍼와 스테이지 사이에 일관된 접촉 저항을 생성 할 수 있습니다. 이것 은 정밀 진공 장치 를 통하여 달성 되는데, 이 진공 장치 는 "웨이퍼 '를" 스테퍼' 에 빨아들이고 항상 "웨이퍼 '에 일관성 있는 압력 을 가한다. 이를 통해 생산 과정에서 회로의 정확성과 품질이 일관되게 유지됩니다. 4022-436-46005 는 정교한 안전 장치 (Safety Machine) 를 구현하여 부품 및 시스템의 무결성을 보장합니다. 여기 에는 "머시닝 '공정 중 에 방출 되는 방출 된 입자 와의 접촉 을 막는 안전 문 이 포함 된다. 기계의 내부는 정전기와 전자기 간섭으로부터 보호하는 특수 화학 물질 (special chemical) 로 코팅됩니다. 웨이퍼 스테퍼에는 잠재적 인 문제를 자체 진단 할 수있는 특수 기능도 포함되어 있습니다. 또한, 자동 청소 도구, 전원 공급 장치 및 기타 전자 장치는 지속적인 감독을 통해 모니터링되고 유지됩니다. 마지막으로, ASML 4022-436-46005에는 사용하기 쉬운 소프트웨어가 장착되어 있어 부품, 재료, 폼 팩터에 빠르게 적응할 수 있습니다. 따라서 다운타임 (downtime) 과 처리량 (throughput) 을 최소화하여 모든 운영 라인의 중요한 구성 요소가 됩니다.
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