판매용 중고 ASML 2500/40 #9004040

ASML 2500/40은 반도체 장비 제조업체 인 ASML이 개발 한 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 집적 회로 (integrated circuit) 와 마이크로프로세서 (microprocessor) 제조를 위한 사진 분석 프로세스를 최적화하도록 설계되었습니다. 스테퍼는 빠른 반응, 정확한 움직임, 높은 패턴 정확도, 감소 된 사이클 타임 (cycle time) 을 특징으로하며, 칩 제조업체는 디자인의 크기, 속도, 복잡성을 더욱 발전시킬 수 있습니다. ASML 2500/40에는 245mm 스캔 필드, 유효 해상도 56nm 및 시간당 1400 웨이퍼의 처리량이 있습니다. 모든 주요 마스크 크기 및 재료와 호환되며 0.18 ° arcsec 반복성 및 0.8nm 정확도가 가능합니다. 이 장비는 ASC 200 Z-tilt 기술을 사용하여 마스크 스테이지의 수평, 수직, 회전 이동을 통해 프로세스 성능을 향상시킬 수 있습니다. 스테퍼의 소형 DUV 조명 시스템은 DUV/157nm 방사선을 사용하여 전력 소비와 발자국을 줄이면서 고해상도 이미징을 가능하게합니다. 여기에는 광학 장치, 광학 경로, 투영 렌즈, 슬릿 및 빔 디플렉터와 같은 고급 빔 전달 구성 요소가 포함됩니다. 슬릿 (slit) 어셈블리는 적외선 보호 기능을 제공하며 극한의 온도 조건을 위해 설계되었습니다. 2500/40은 네트워크 환경에서 작동하며 웹 기반 GUI (Graphical User Interface) 가 장착되어 있습니다. 따라서 최대 프로세스 제어 및 가동 시간 (uptime) 에 대한 설정에 쉽게 액세스하고 조정할 수 있습니다. 이 기계는 또한 추적 가능성 및 품질 제어를 위한 도구 관리 및 데이터 분석 기능을 갖추고 있습니다. 2500/40은 안정적이고 고급적인 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 최대 56nm 크기의 복잡한 장치 구조를 지원하도록 설계되었습니다. 이중 단계 수정 기술, 매우 정확하고 효율적인 조명 도구, 고급 도구 관리 기능을 갖춘 ASML 2500/40 (ASML 2500/40) 은 웨이퍼 당 가장 저렴한 비용으로 전례없는 수준의 성능을 제공합니다.