판매용 중고 ASML 2500/40 #293828002

ASML 2500/40 Wafer Stepper는 집적 회로의 대용량 생산을 위해 설계된 정교한 반도체 석판 장비입니다. 극도의 정확성과 효율성을 갖춘 전용 스텝 앤 반복 스테퍼입니다. 이 시스템은 리소그래피 모듈, 스테이지 모듈, 조작기 모듈, 디지털 컴퓨터 제어 장치 등 4 가지 주요 하위 시스템으로 구성됩니다. 리소그래피 모듈은 레지스트 코팅 웨이퍼의 데이터를 긍정적으로 전송하는 데 사용됩니다. 여기에는 투영기, 포토 마스크 및 최적의 이미지 전송을위한 조명원이 통합되어 있습니다. 스테이지 모듈은 스테이지 베이스, X-Y-I 조작기 및 렌즈 도구로 구성됩니다. 올바른 정밀한 이미지 전송을 위해 프로젝션 광학을 구동하는 데 사용됩니다. 조작기 (Manipulator) 모듈은 웨이퍼를 앞뒤로 이동하여 처리량을 극대화하는 빠른 스캐닝 기능을 제공합니다. 디지털 제어 자산은 고속 프로세서, 통신 인터페이스 (Communications Interface), 소프트웨어 패키지 (Software Package) 로 구성되어 있어 최적의 성능과 우수한 서비스를 제공합니다. 사용자와 모델 사이에 최적의 인터페이스를 제공합니다. 장비에는 또한 쓰기 시간 (write time) 과 웨이퍼 왜곡 (wafer distortion) 의 최대화를 보장하는 이중 빔 기능이 있습니다. ASML 2500/40 Wafer Stepper 의 고급 기능과 탁월한 정확성은 하이엔드 리소그래피 솔루션이 필요한 조직에 이상적인 선택입니다. 이 고성능 시스템은 시간당 최대 175 와퍼의 속도를 가능하게 하며, 최대 처리량을 제공합니다. 이 장치의 높은 정확도 기하학적 성능은 닫힌 루프 제어 머신 (closed-loop control machine) 에 의해 보장되며, 이는 정확하고 반복 가능한 이미징을 제공합니다. 2500/40에 사용되는 고품질 렌즈는 동적 초점 조정, 오프 축 이미지 전송, 정확한 오프 축 레이저 정렬을 특징으로합니다. 2500/40 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 에는 최고급 포토 마스크 체인저도 장착되어 있어 광학 성능에 영향을 미치지 않고 마스크를 신속하게 교환 할 수 있습니다. 이 기능은 렌즈 초점 드리프트로 인한 잠재적 웨이퍼 인쇄 결함을 제거합니다. 마지막으로, 이 툴에는 고급 사용자 인터페이스 (user interface), 진단 및 복원 기능 (diagnostics and restorative), 자동 교정 루틴 (automated calibration routine) 이 제공됩니다.