판매용 중고 ASML 2500/40 #293828001

ASML 2500/40은 광학 리소그래피 장비의 기술 리더 인 ASML에서 생산 한 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. ASML 2500/40은 고급 옵틱을 사용하여 극도로 정확하고 해상도를 갖춘 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에 패턴을 이미지와 투영합니다. 2500/40은 19 개의 독립 축을 자랑하며, 이는 전체 별 및 기울기/회전 제어를 제공하여 리소그래피 프로세스 동안 웨이퍼를 검사하고 조정합니다. 기계의 중심에는 다중 축 짐벌 스타일 거울과 432 세그먼트 투영 렌즈 어셈블리가 있습니다. 장비의 작동 온도는 10C-30C이며, 필요한 압력 환경을 유지하는 진공 정류 시스템 (vacuum rectification system) 입니다. 투영 렌즈는 아르곤 플루오 라이드 레이저 (argon fluoride laser) 를 사용하여 실리콘 웨이퍼에 패턴을 정확하게 투영합니다. 2500/40은 풀 필드 조사 (full-field irradiation) 를 사용하여 0.2 미크론에서 40.5 미크론 범위의 피쳐 크기를 갖는 고정밀 패턴을 만듭니다. 이 기계에는 또한 웨이퍼 정렬, 결함 관리, 레시피 개발 등 여러 자동 프로세스가 포함되어 있습니다. ASML 2500/40은 시간당 최대 500 웨이퍼 (wafer) 의 생산 처리량으로 30 초 이내에 웨이퍼를 조달 할 수 있습니다. 높은 성능을 얻기 위해 ASML 2500/40에는 고급 파장 장치가 장착되어 있으며, 향상된 패턴 배치, 오버레이 및 저항 응답을 위해 X/Y 편광 광을 제어합니다. 독립 조명 머신은 최적화 된 이미징 충실도와 대비를 제공합니다. 또한 이 도구의 일부는 정교한 실시간 장애 감지 (real-time failure) 및 수정 알고리즘으로, 최적의 성능을 보장합니다. 2500/40은 고정밀도 및 고출력 리소그래피 작업을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 다중 축 설계, 고품질 광학 및 고급 자동화를 통해 2500/40은 정확성과 반복성을 제공합니다 (2 ~ 1). 이 효율적이고 안정적인 자산은 모든 유형의 현대 반도체 제작 (semiconductor fabrication) 에 이상적이며, 집적회로의 정확하고 빠른 생산을위한 강력한 도구입니다.