판매용 중고 ASML 2500/40 #293827878

ASML 2500/40은 반도체 집적 회로 (IC) 생산에 사용되는 리소그래피 기계 인 웨이퍼 스테퍼 모델입니다. 기본 (basic) 패턴과 복잡한 패턴을 IC의 기판 인 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에 인쇄하는 데 사용할 수 있습니다. 장비는 인라인 전자 빔 소스 스캐너 시스템으로 구동됩니다. 이 소스 스캐너는 40kV에서 최대 2500nm 해상도의 매우 정확한 패턴을 생성 할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼는 4 가지 주요 요소 (인라인 소스 스캐너, 광학 열, 스테이지 및 소프트웨어 장치) 로 구성됩니다. 인라인 소스 스캐너 머신 (in-line source scanner machine) 은 정밀 제어 메커니즘을 가지고 있으며 패턴 전달에 필요한 전자 빔을 제공합니다. 정렬 정확도는 ± 20um, 스팟 크기 정확도는 ± 3um입니다. 광학 열은 다수의 렌즈와 빔 정의 조리개로 구성됩니다. 전자빔의 투영과 웨이퍼의 패턴 형성 (pattern formation) 을 제어하는 역할을 한다. 정렬 정확도는 ± 5um이며 해상도는 0.50um입니다. 스테이지는 웨이퍼의 정확한 변환 및 회전 이동을 제공합니다. 최소 단계 크기가 0.001um인 0.50um의 선형 이동 정확도를 갖습니다. 소프트웨어 툴은 패턴을 wafer 로 설정하고 전송하는 데 사용됩니다. ASML 2500/40 스테퍼는 고급 IC 생산의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 이미지 스티칭 (image stitching), 고급 냉각 시스템, 고유한 이미지 수정 알고리즘, 자동 최적화 (Automated Optimization) 등의 다양한 고급 기능을 갖추고 있습니다. 견고 한 "디자인 '은 또한" 머신' 이 혹독 하거나 불리 한 상태 에서도 최고 의 성능 으로 계속 작동 할 것 을 보장 해 준다. 2500/40 웨이퍼 스테퍼는 고도의 IC 제작을위한 귀중한 도구입니다. 즉, 높은 정밀도로 복잡한 패턴을 인쇄하고, 높은 처리량과 높은 품질을 유지할 수 있습니다. 반도체 기업들은 이 기술을 활용해 신뢰성이 높고 내구성이 높은 칩을 생산할 수 있고, 점점 성장하고 있는 전자산업의 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계됐습니다 (영문).