판매용 중고 ASML 200 #293760305

ASML 200 (ASML 200) 은 반도체 칩 및 집적 회로 생산에 사용되는 고급 기술 시스템의 국제 공급 업체 인 ASML에서 제조 한 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 최첨단 스테퍼는 높은 처리량, 품질, 반복성이 필수적인 반도체 장치 제조 공정을 위해 설계되었습니다. 200은 웨이퍼의 정렬 및 노출에 사용되는 여러 레이저 비전 시스템을 사용합니다. 기계의 스테퍼 모터 (stepper motor) 는 매우 정확한 동작 제어 포지셔닝 및 웨이퍼 스캐닝을 제공합니다. 시스템 성능에 대한 외부 소스의 잠재적 영향을 최소화하는 방진 (anti-vbration) 기능을 갖춘 원활한 작동 장비입니다. 또한, 스테퍼는 빠른 스캔 속도, 명목 노출 시간 (7ms) 및 해상도 (최대 7.5jm) 를 제공합니다. ASML 200은 또한 노출과 부분 필드 보정을 위해 계층 제어를 제공하는 독특한 다중 계층 셔터 장치 (multi-layered shutter unit) 를 갖추고 있습니다. 또한, 이 기계에는 노출 매개변수의 미세 튜닝을 허용하는 고급 프로그래밍 (advanced programming) 기능이 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 각 "칩 '을 생산 하는 동안 에 정확 히 원하는 노출 수준 이 달성 된다. 임베디드 안전 (Embedded Safety) 기능과 함께, 이 기계는 광범위한 환경 조건에서 작동하도록 설계되었으며, 안정성이 높고 내구성이 뛰어납니다. 최첨단 설계와 더불어 200 은 완전한 소프트웨어 제품군을 갖추고 전체 생산 프로세스 (production process) 를 원활하게 수행할 수 있습니다. 작업 스케줄링, 레시피 작성, 중요한 프로세스 제어, 웨이퍼 교환 및 숙박 시설, 상태 모니터링, 데이터 기록 시스템 등이 포함됩니다. 또한 수동/자동 정렬, 최적 용량 조절, 내부 결함 지향 모니터링, 기판 홀더 자동 청소 등을 제공합니다. 전반적으로 ASML 200 웨이퍼 스테퍼는 반도체 장치 제조 산업에 정밀도, 속도, 신뢰성을 제공하는 고도로 발전된 도구입니다. 고품질 (High Quality) 구성 요소로 구성되며 고급 소프트웨어 솔루션 제품군을 갖춘 이 머신은 높은 처리량, 품질, 반복성이 요구되는 모든 운영 프로세스에 적합한 자산입니다.