판매용 중고 ASM WS 896 #9302497

ASM WS 896은 반도체 제작 프로세스에 사용되는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 해상도와 속도 용량을 갖춘 DUV 스캔 스테퍼 (DUV scan stepper) 로, 웨이퍼를 보다 정확하게 조작할 수 있습니다. ASM WS896은 최대 0.5 um의 정확한 배치 정확도와 균일성을 제공합니다. 최대 9 인치의 매우 넓은 스캐닝 필드 (scanning field) 가 있어 처리 작업의 정밀도가 높습니다. 또한 시간당 최대 16 와퍼 (wafer) 의 높은 처리율을 제공하여 대규모 운영 실행에 이상적입니다. WS 896 내의 광학 장비는 2 개의 레이저 간섭계를 사용하여 레티클 및 웨이퍼 표면의 정확한 위치를 지정하고 피치 오류를 줄입니다. 검사 시스템은 선형 (linear) 드라이브를 사용하여 전체 필드에 대해 부드러운 동작을 보장합니다. 웨이퍼의 위치 정확도는 1.5 ½ m 이내이며, 이는 가장 정확한 작동에 적합합니다. WS896 에는 회로를 빠르고 정확하게 정렬할 수 있는 다양한 기능 (예: 기본 제공 정렬 장치) 이 제공됩니다. 또한 듀얼 빔 패턴 링 머신 (dual-beam patterning machine) 과 사전 선명 기능 (pre-sharpening feature) 이 제공되어 레티클에서 정확하고 균일 한 이미징을 보장합니다. 또한, 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 에는 가공실의 습도를 더 잘 제어 할 수있는 환경 제어 도구가 내장되어 있습니다. ASM WS 896 (ASM WS 896) 은 반도체 생산 설비에 이상적인 선택으로, 비교적 짧은 시간에 균일성과 정밀성을 갖춘 고품질 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. 또한 사용자 편리합니다. 설정에는 몇 분 밖에 걸리지 않으며 유지 보수가 최소화됩니다. ASM WS896 은 지능형 (Smart Optics) 자산과 폭넓은 시야를 통해 기본 제작 작업부터 보다 복잡한 이미징 시스템에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있습니다.