판매용 중고 ASM WS 896 #9144222

ASM WS 896은 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 스테퍼 처리를 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 리서치 애플리케이션 (Research Application) 과 산업 애플리케이션 (Industrial Application) 모두에 이상적이며 최고의 성능 요구 사항을 충족하도록 최적화되어 있습니다. ASM WS896은 4DOF 모터 제어를 갖춘 대규모 고해상도 고급 옵티컬 렌즈 시스템을 갖추고 있습니다. 이를 통해 0.7 미크론의 정확도로 전체 3D 패턴화 및 서피스 피쳐가 가능합니다. 또한 초고속 다중 시야각 스캐닝 (Multiple Field-of-View Scanning) 및 초점 변동 (Focus Variation) 기능을 통해 다양한 애플리케이션 요구 사항에 대해 초고속 이미지 처리 및 데이터 입수를 수행할 수 있습니다. WS 896 은 초당 1600 단계 (step per second) 의 최고 속도로 작동하여 드리프트가 최소화되고 스캐닝이 매우 정확합니다. 또한, 스테퍼는 정확한 패턴 기능을 보장하기 위해 노출 시간을 제한하는 기능을 갖추고 있습니다. 또한 정확한 패턴 포지셔닝을 위해 광학 인코더를 제공합니다. 스테퍼는 최대 12 "의 Wafer 크기를 처리할 수 있으며, 다양한 wafer 크기 워크플로를 사용할 수 있습니다. 또한 300mm 구성 기능을 통해 가장 적합한 처리를 제공합니다. WS896에는 근접 센서와 매우 정밀한 클램프가 장착 된 엄격한 안전 디자인이 포함되어 있습니다. 또한 특허를받은 최적화 된 4 포인트 액티브 클램프를 제공하여 완벽하게 평평한 웨이퍼와 정확한 위치를 보장합니다. 또한, 896 유형은 완전하게 자동화된 웨이퍼 로딩/언로딩 솔루션을 제공하여 효율성을 높이고 안전을 향상시킵니다. 수동 로드와 자동 로딩을 모두 지원합니다. 웨이퍼 스테퍼는 또한 정확하고 반복 가능한 등록 및 스컬링을 보장하기 위해 CCD 정렬을 제공합니다. 다양한 표준 제어 시스템과 호환되며, 소프트웨어 패키지는 사실적인 3D 시뮬레이션 및 시각화를 지원합니다. 결론적으로, ASM WS 896은 광범위한 어플리케이션에 적합한 안정적이고 다용도 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 옵틱, 정확한 패턴, 안전하고 효율적인 웨이퍼 로딩 (wafer loading) 및 언로딩은 연구 및 산업 요구 사항에 이상적인 선택입니다.