판매용 중고 ASM WS 896 #9134186

ASM WS 896은 비용 효율적인 생산을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 뛰어난 기능 제어 (feature control) 를 갖춘 곡면 (curved) 필드 조명 장비를 사용하여 미세 구조물의 높은 정확도로 생산할 수 있습니다. 전반적으로 탁월한 설계를 자랑하는 이 시스템은 빠르고 효율적이며, 다양한 어플리케이션을 지원합니다 (영문). ASM WS896 웨이퍼 스테퍼는 필드 플레이트 디자인과 헥사 포드 (hexapod) 다중 축 동작 장치를 갖추고 있어 고정밀 정렬 유연성과 탁월한 처리율을 제공합니다. 헥사 포드 (hexapod) 는 각 웨이퍼가 독립적으로 움직이는 것을 허용하며 최대 안정성과 처리량을 제공합니다. 또한, 스테퍼는 안내, 등록 및 웨이퍼 스캔과 같은 여러 기능을 수행 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 와퍼 스테이지 (wafer stage) 의 이미지 설계 및 최적화를위한 원격 중심 렌즈 도구 (telecentric lens tool) 가있는 고급 광학 배열을 갖추고 있습니다. 이 광학 에셋 (optical asset) 을 통해 패턴이 웨이퍼에 정확하게 투영되고, 슬릿 레이디얼 (slit radial) 필드를 통해 모델의 성능과 정확도를 높일 수 있습니다. 또한, 이 장비는 정교한 노출 수정 기능을 지원하여 초점 (focus) 과 패턴 (patterning) 오류를 줄이고 프로세스 처리량을 증가시킵니다. 이 시스템은 또한 광범위한 프로세스 및 이미지 제어 (image control) 기능을 제공하여 고품질 미세 구조의 안정적인 생산을 보장합니다. 이러한 기능에는 자동 초점 나누기 감지, 고급 모서리 배치 정밀도, 클러스터 배치 제어 및 자동 모서리 감지 정렬이 포함됩니다. 또한이 장치는 멀티 스텝 보정기 (multi-step compensator) 와 자동 다이 회전 (automatic die rotation) 을 사용하여 미세 구조물의 정확한 배치를 보장합니다. 결론적으로 WS 896은 비용 효율적인 생산을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 뛰어난 디자인, 고급 옵틱 (optic), 다양한 성능과 제어 기능을 갖춘 이 머신은 빠르고, 효율적이며, 높은 정확도로 미세 구조물의 안정적인 생산을 보장합니다.