판매용 중고 ASM D1 #9238470

ASM D1은 반도체 제조에 사용되는 웨이퍼 스테퍼로, 웨이퍼를 정확하게 정렬하고 패턴화합니다. 고급 피에 조 (piezo) 구동 스캐너 엔진을 사용하여 웨이퍼를 매우 정확한 증분, 다양한 각도로 빠르게 찾기, 정렬 및 이동합니다. "스텝퍼 '는 또한 적응 광학" 시스템' 을 사용 하여 "스테이지 '의 설정 을 독립적 으로 조정 하여 성능 을 향상 시킨다. 스캐너 메커니즘은 닫힌 루프 피드백 (closed loop feedback) 을 사용하여 작업 중 가장 정확한 정밀도를 보장합니다. 또한 최대 8K 해상도의 고급 CCD 카메라 (백라이트 조절 가능) 를 갖추고 있으며, 웨이퍼 표면의 장치 및 구조 이미지를 안정적으로 캡처 할 수 있습니다. 고급 카메라는 또한 라인별 캡처 (line-by-line capture) 를 통해 패턴을 매우 정확하게 등록할 수 있습니다. D1은 여러 웨이퍼에 액세스 할 수있는 로봇 암 (robotic arm) 으로 구동되며, 웨이퍼의 자동 로딩, 청소 및 정렬을 제공합니다. 또한, "스테퍼 '에는 가공 을 위해 여러 개 의" 웨이퍼' 를 놓을 수 있는 큰 물체 단계 가 갖추어져 있다. 스캐너, 카메라, 로봇 암 (robotic arm) 이 주어지면 ASM D1은 디플링 (dimpling) 과 같은 고급 패턴화뿐만 아니라 웨이퍼의 스크리빙 및 절단도 수행 할 수 있습니다. 이를 통해 반도체 부품의 제조에서 훨씬 더 높은 수준의 유연성과 효율성을 확보할 수 있습니다 (영문). 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 또한 매우 자동화되어 안전성과 효과를 보장하기 위해 센서가 장착되어 있습니다. 많은 작업에서, D1은 다른 산업 등급 자동화 시스템과 통합되어 있으며, 로봇 구성 요소 프로그래밍 (예: 다양한 생산 작업) 에 사용될 수 있습니다. 따라서, 산업 LCD 생산에서 정밀 장치 조립에 이르기까지 다양한 시설에서 사용할 수 있습니다. ASM D1은 매우 정확하고, 효율적이며, 다재다능한 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 새로운 제품 설계 및 프로토타입을 포함하여 다양한 반도체 운영을 위해 많은 회사가 선택할 수 있습니다. 다른 웨이퍼 스텝퍼 (Wafer Stepper) 보다 비싸지만, 뛰어난 정밀도, 안정성 및 생산 능력을 향상시킬 수있는 잠재력을 제공합니다.