판매용 중고 ASM 9000 #9360909

ASM 9000은 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 반도체 제조에 사용되어 집적 회로 (IC) 를 만듭니다. 와이퍼 (wafer) 에 칩 각인의 2 차원 정렬과 온축 투영을 제공하는 고성능 광학이 장착되어 있습니다. 장비는 프레임 배열 (Frame Arrangement) 을 기반으로 한 것으로, 모든 방향에서 동적 정렬을 가능하게 하며, 칩 상표 프로세스의 정확도를 향상시킵니다. 이 "시스템 '은 고급형" 스테퍼 엔진' 을 사용 하여 "와퍼 '를 이동 시키는데, 그" 와퍼' 는 장치 에 적재 되어 있고 "웨이퍼 '가" 스테퍼 모터' 의 지시 대로 움직 이도록 조정 할 수 있다. 스테퍼 모터는 최대 속도 10mm/s의 정확한 움직임을 허용합니다. 9000 웨이퍼 스테퍼는 또한 최첨단 노출 머신을 사용하여 칩 이미지를 웨이퍼에 정확하게 노출시킵니다. 높은 플럭스를 갖춘 엑시머 레이저 (excimer laser) 를 사용하여 최대 3000 웨이퍼/시간의 처리량과 최대 0.6ms/라인 회로 패턴의 스캔 속도를 제공합니다. 또한 빔 블랭킹 (beam blanking) 도구를 사용하여 노출 중 높은 정확성과 오염을 제거하는 완전 밀폐 레이저 챔버 (fully-enclosed laser chamber) 를 제공합니다. 또한, 이 자산을 통해 사용자는 노출 전력 및 용량을 조정할 수 있습니다. 이 모델에는 시각화 (Visualization) 와 제어 장비 (Control Equipment) 가 함께 제공되어 시스템 작동을 모니터링하고 중요한 매개변수의 추적을 가능하게 합니다. 이 시스템은 사용자 친화적인 운영자 인터페이스 (Operator Interface) 를 갖추고 있으며, 유지 보수 및 프로세스 최적화를 용이하게 하는 안정적인 데이터 아카이빙 장치를 갖추고 있습니다. 안전성 측면에서 ASM 9000 웨이퍼 스테퍼 (ASM 9000 wafer stepper) 는 고강도 레이저 빔에 위험한 노출로부터 기계 운영자 및 인근 인력을 보호하기 위해 설계되었습니다. 수많은 안전 인터 록 (Safety Interlock), 중복 키 시스템 및 비상 상황을위한 브레이크 오프 (Break-off) 보호 기능이있는 가벼운 커튼이 제공됩니다. 9000 웨이퍼 스테퍼의 고급 디자인과 강력한 성능으로 인해 대용량 IC 생산에 이상적인 선택입니다. 정밀도, 정확도, 프로세스 제어 기능을 통해 기술적으로 고급 IC를 생산할 수 있습니다.