판매용 중고 ACONITY 3D Aconity MICRO #293822393
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ID: 293822393
빈티지: 2022
Lithography system
Process: SLM
IR Laser, 400w
Materials: copper alloys, Inconel, steel alloys
Running hours: 1500
2022 vintage.
ACONITY 3D Aconity MICRO는 반도체 제조 및 기타 첨단 기술 산업의 고정밀도 및 고출력 석판 공정을 위해 특별히 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 최첨단 기술과 혁신적인 설계를 활용하여 웨이퍼 (wafer) 에 복잡한 미세 구조를 제작할 때 탁월한 성능, 정확성, 신뢰성을 제공합니다. 아코니티 마이크로 (Aconity MICRO) 의 핵심 특징 중 하나는 고급 광학 장비로, 고해상도 렌즈 시스템과 정밀한 정렬 메커니즘으로 구성되어 있습니다. 이 광학 장치는 서브 미크론 해상도 (sub-micron resolution) 와 오버레이 정밀도 (overlay accuracy) 를 달성하는 데 중요한 역할을합니다. 이 스테퍼는 또한 정교한 조명 머신 (lumination machine) 을 통합하여 웨이퍼 표면에 포토 esist를 균일하고 제어하여 패턴 전달의 일관성을 보장합니다. 또한 ACONITY 3D Aconity MICRO에는 고속, 고정밀 웨이퍼 포지셔닝 및 정렬이 가능한 최첨단 스테이지 툴이 장착되어 있습니다. 이 스테이지에는 선형 모터, 인코더와 같은 고급 동작 제어 (advanced motion control) 기술이 적용되어 나노미터 이하의 위치 정확성과 반복 성을 달성합니다. 이 정밀도 수준은 리소그래피 프로세스 (lithography process) 동안 패턴 전송의 충실도, 특히 초미세 (ultra-fine) 기능이 필요한 고급 노드의 경우 중요합니다. Aconity MICRO는 최첨단 Optic 및 Stage 시스템 외에도, 고급 제어 및 자동화 기능과 통합되어 있습니다. 이 스테퍼에는 사용자 친화적 인 인터페이스 (interface) 와 직관적인 소프트웨어 (software) 가 장착되어 있어 석판 처리를 쉽게 프로그래밍하고 제어할 수 있습니다. 또한 이 소프트웨어에는 자동 오류 수정, 프로세스 최적화, 실시간 모니터링 (실시간 모니터링) 을 위한 고급 알고리즘이 포함되어 있어, 연산자가 최적의 프로세스 성능 및 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 ACONITY 3D Aconity MICRO에는 근접, 접촉, 투영 리소그래피 등 다양한 리소그래피 프로세스를 지원하는 모듈식 및 유연한 디자인이 있습니다. 스테퍼는 다양한 웨이퍼 크기, 재료 및 두께를 수용 할 수 있으며, 반도체 제작, MEMS 제조, 마이크로 일렉트로닉스, 광자 및 기타 신흥 기술 부문의 다양한 응용 분야에 적합합니다. 다재다능성과 확장성은 연구개발 (R&D) 과 볼륨 생산에 이상적인 도구다. 전반적으로 Aconity MICRO는 차세대 웨이퍼 스텝퍼를 나타내며, 고급 석판화 프로세스에 탁월한 정밀도, 성능, 신뢰성을 제공합니다. 첨단 옵틱, 스테이지, 컨트롤 및 자동화 기술이 결합되어 최첨단 미세 구조 (Sub-micron resolution) 를 생산하기위한 뛰어난 패턴화 기능을 제공합니다. 혁신적인 디자인과 다용도로, ACONITY 3D Aconity MICRO는 반도체 제조 및 기타 첨단 산업의 발전을 주도할 수 있으며, 점점 더 복잡해지고 고급 장치와 시스템을 실현할 수 있습니다.
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