판매용 중고 PVA TEPLA / TECHNICS PlasmaPen #9056655
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PVA TEPLA/TECHNICS PlasmaPen은 마이크로 컴포넌트의 제조 및 에칭에서 높은 정확성과 정밀도를 제공하도록 설계된 전기 화학 에칭 및 애싱 장비입니다. 소규모/대규모 생산을 위한 자동 솔루션을 제공하며, 플라나라화 (planarization), 에칭 (etching), 클리닝 (cleaning), 스퍼터링 (sputtering) 등 다양한 프로세스에 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 진공실, 제어 장치, 전원 공급 장치 및 에칭/증착 전극으로 구성됩니다. 진공 챔버는 높은 진공 챔버와 배기 챔버로 구성됩니다. 높은 진공 공간은 열 방패 (heat shield) 에 의해 배기 챔버와 분리되어, 전체 챔버 무결성을 유지하면서 배기에서 에칭/스퍼터링 챔버 (etching/sputtering chamber) 로의 열 이동을 방지합니다. 그런 다음 약실은 적절한 압력 및 온도 안정성을 보장하기 위해 아르곤 (Argon), 제논 (Xenon) 또는 헬륨 (Helium) 과 같은 고귀한 가스로 채워집니다. "에칭 '과" 스퍼터링' 의 정확도 를 최대화 하기 위하여 압력 과 온도 를 정확 하게 측정 할 수 있다는 것 은 이 단위 를 사용 한 접근 방법 이다. 제어 장치 (Control Unit) 는 기계의 다양한 구성 요소를 정확하게 제어하는 데 사용됩니다. 여기에는 전원 공급 장치, 챔버 압력, 가스 구성, 증착 및 에칭 매개 변수가 포함됩니다. 또한, 에칭 (etching) 프로세스를 모니터링하고 분석하여 최적의 성능을 위해 공구를 조정할 수 있습니다. "에칭 '과 증착 을 위해" 에테이트' 에 각기 다른 전압 을 적용 하도록 전원 공급 장치 를 조정 하고 구성 할 수 있다. 이것은 전압이 에칭 및 증착 속도를 제어하기 때문에 필수적입니다. 원하는 물질 의 증착 에 전기 화학 공정 이 사용 되며, 그렇게 하면 "에칭 '공정 이 시작 된다. 이것 은 이 자산 에서 "에너지 '공급 이 매우 중요 한 이유 이다. 그 이유 는" 에너지' 를 정밀 하게 조절 하기 위하여 전압 을 조정 하는 데 사용 할 수 있기 때문 이다. 에칭/증착은 전극에 의해 수행되며, 전극은 고객의 정확한 사양을 충족시키기 위해 가공됩니다. 이를 통해 가장 정확한 에칭/증착 속도와 정확도를 달성 할 수 있습니다. 에칭/증착 과정은 정확한 재료 선택 및 증착, 열/압력 제어 (heat/pressure control) 및 제어 장치에 의해 구성된 저전력 (low-power) 옵션의 조합으로 인해 신뢰성이 높고 정확합니다. 이 모델의 정확성과 정밀도는 소규모에서 대규모의 생산에 이상적인 선택이라 할 수 있습니다 (영문). TECHNICS PlasmaPen은 고정밀 마이크로 컴포넌트 제작을 위해 설계된 강력한 에칭 및 애싱 장비입니다. 압력과 온도 조절 (pressure and temperature control), 자동화된 전원 공급 장치 (automated power supply), 그리고 정확하게 가공된 전극에 대한 포괄적인 접근 방식은 섬세한 부품의 정확한 침착과 에칭에 이상적인 선택입니다.
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