판매용 중고 CAMECA SX-50 Marco EPMA #62374
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ID: 62374
웨이퍼 크기: 6"-8"
Electron microprobe, 6"-8"
JVC Video camera
Turbo pump with loadlock
Ion getter pumps at the gun:
Thermally assisted field emission system
EDAX: Energy dispersive X-ray detector
EDX Liquid nitrogen for cooling
BSE Erectors
Loadlock
(3) WDX Spectrometers
Crystals: LiF, PET, TAP, ODPb, PC1, PC2, PC3
6" Stage, HV, Pump control run digital from PC
(2) Roughing pumps:
Column
Loadlock
BLAZERS TPU510 Turbo for high vacuum
LEYBOLD Trivac D16B Vacuum pump
ALCATEL 2012 A Vacuum pump
(2) Integrated turbo pumps
Analytical detectors:
Si: Li Energy dispersive X-ray for rough analysis
(3) High resolution wavelength dispersive X-ray spectrometers (WDX)
With flow counters
Crystals:
LiF
PET
TAP
ODPb
PC1
PC2
PC3
Manuals
Computer
Spare parts
Power supply: 230 VAC, 50 Hz, Single phase, 22 Amps.
CAMECA SX-50 Marco EPMA는 강력한 에너지 분산 X- 선 분광계로, 다양한 응용 프로그램에서 뛰어난 성능을 제공합니다. 그것은 미크론 이하의 영역을 결정할 수 있도록 독특하게 설계되었으며, 탁월한 해상도와 형광 배경 억제 (fluorescent background suppression) 를 제공합니다. SX-50 마르코 (SX-50 Marco) 는 전자 전진 (electron-forward) 및 경량 (light) 요소 요소에 대한 우수한 반 정량 원소 분석을 제공하며, 상용 분광계의 해상도가 가장 높아 온 축 및 오프 축 오염 물질과 노이즈를 크게 줄입니다. SX-50 Marco 에너지 분산 분광계 (Marco energy dispersive spectrometer) 에는 중간 수준의 resolutio thetamax 검출기가 장착되어 있으며, Yman-alpha line of H에서 M-shell line of Re까지 광범위한 X-ray 에너지를 감지 할 수 있으며 Be to Prespentation 데이터 분석, 소프트웨어 및 장비가 제공됩니다. 이 시스템은 또한 여러 레이어 (layer of information) 의 조합을 지원하므로 중첩 스펙트럼을 보다 효율적으로 병합 및 비교할 수 있습니다. SX-50 마르코 (Marco) 는 나노 구조 재료 분석, 미네랄 특성, 박막 및 코팅 분석, 폴리머, 복합 물질 및 세라믹의 특성 등 다양한 응용 분야에서 우수한 성능을 제공 할 수 있습니다. 이 장치는 완전히 통합 된 멀티 컬렉션 기능을 특징으로하며, 두 채널 (예: 백스캐터 및 전송) 모두에서 X 선 신호를 동시에 캡처 할 수 있습니다. 또한, 분광계는 실시간 및 배치 모드에서 고감도, 원소 매핑 및 이미징을 제공합니다. SX-50 Marco EPMA는 최신 이미징 기술로, X-ray 에너지와 X-ray 강도 맵에서 동시에 데이터를 수집하여 복잡한 재료를 매핑하는 데 탁월한 유연성을 제공합니다. 또한, 분광계는 반 분석 및 정량 분석을 지원하며, 주요 및 미량 요소 농도와 다른 특성 (예: 두께, 조성, 조성/밀도 및 결정 구조) 을 모두 결정할 수 있습니다. CAMECA SX-50 마르코 EPMA (Marco EPMA) 에는 풀 전송 (full transmission) 및 단색 모드 (monochromatic mode) 와 같은 여러 가지 다른 고급 기능이 제공되며, 이는 다양한 스펙트럼 캡처 상황에서 감도를 최대화하는 데 사용됩니다. 또한 이 기계는 사용이 간편한 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 제공하며, 소프트웨어를 간단하고 직관적으로 탐색할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 이 도구는 독립형 모드로 작동하거나 SEM (SEM) 과 통합되어 향상된 성능을 제공합니다. 전반적으로, SX-50 Marco EPMA는 뛰어난 원소 분석 성능을 제공하며, 복잡한 나노 구조 재료를 해결하여 탁월한 성능을 제공합니다.
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