판매용 중고 CAMECA IMS 4F #293769036
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ID: 293769036
Spectrometer
Load lock
Monochromator
CCD Detector
Electrical cool
Spherical chamber
Inner diameter: 175 mm
Vacuum pump
Transfer arm
Scroll pump: 10^-3 mbar
Turbo molecular pump: 10^-6 - 10^-7 mbar
Main chamber:
Inner diameter: 300 mm
E-Gun, 3 keV
(2) Manipulators
Cooling down to 12°C
Heating up to 900°C
Polar rotation
Azimuthal rotation
Measurement items:
Surface scanning spectroscopy
Photo luminescence
Angle resolved pl spectroscopy
Cathodo luminescence
Angle resolved cl spectroscopy
Electro luminescence
Spectroscopic ellipsometry
Elastic and inelastic scattering light
Plasmon spectroscopy.
CAMECA IMS 4F는 고해상도 깊이 프로파일링과 광범위한 원소 동위 원소 분석을 위해 설계된 강력하고 다재다능한 SIMS (secondary ion mass spectrometer) 입니다. 고출력 이온 소스, 샘플 스퍼터/에치 챔버, 질량 분석기 및 검출기로 구성됩니다. CAMECA IMS4F는 두 개의 다른 표준 이온 소스, 고강도 Cs + 소스 및 Ga + 또는 Au + 보조 이온 소스를 특징으로합니다. 응용 프로그램에 따라, 원하는 이온 수율, 질량 해상도, 스퍼터 속도를 제공하기 위해 적절한 소스를 선택할 수 있습니다. 샘플 스퍼터/에치 챔버에는 다이아몬드 또는 SiC 스퍼터 프로브와 양극 홀더가 장착되어 있습니다. 회전 샘플 스퍼터 유닛은 효과적인 스퍼터링을 위해 가변 샘플 회전을 허용합니다. 챔버 (chamber) 에는 낮은 에너지 임플란테이션 소스가 포함되어 있어 매우 높은 정밀도로 샘플의 깊이 프로파일링이 가능합니다. IMS-4F의 질량 분석기 (Mass Analyzer) 는 높은 동적 범위와 해상도를 제공하는 이중 초점 반사 비행 시간 기기입니다. 질량 분해능의 척도 인 MRS (Mass Resolution Sensitivity Product) 는 2000 년까지 설정할 수 있습니다. CAMECA IMS-4 F의 검출기는 Faraday 컵 또는 다중 채널 플레이트 (MCP) 검출기입니다. 패러데이 컵 (Faraday cup) 은 중간질량 이온을 검출하는 데 적합한 선택이며, MCP 검출기는 저질량 이온을 검출하는 데 더 좋습니다. 또한 MCP 는 검출 사슬 (detection chain) 에서 백그라운드 이온을 제거하여 동적 범위 및 질량 해상도를 향상시킵니다. CAMECA IMS-4F 는 최적의 데이터 획득 및 분석을 위해 모든 구성 요소를 제어하는 고성능 소프트웨어로 구동됩니다. 이를 통해 고속 분석, 스팟 스캔, 이미징 및 다중 심도 프로파일링을 쉽게 수행할 수 있습니다. 결론적으로, IMS 4F는 매우 강력하고 다재다능한 2 차 이온 질량계로, 표면 및 벌크 샘플에 대해 높은 해상도와 광범위한 원소 동위 원소 분석을 제공합니다. 사용자 친화적 (user-friendly) 기능과 결합된 유연성은이 도구를 다양한 어플리케이션에 이상적인 선택으로 만듭니다.
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