판매용 중고 RIBER 401-1000 #293600163

제조사
RIBER
모델
401-1000
ID: 293600163
Power unit.
분자 빔 에피 택시 (MBE) 는 고품질 반도체 재료 제작을위한 혁신적인 방법입니다. RIBER 401-1000은 고품질 박막 성장에 사용되는 분자 빔 에피 택시 장비입니다. 원자 규모 두께로 다양한 화합물 기판을 생산하는 데 사용할 수 있습니다. 이를 달성하기 위해 시스템은 여러 소스와 성장 챔버 (growth chamber) 와 관련된 프로세스를 사용합니다. 소스 측에는 4 개의 개별 독립 소스 (전자 빔 증발기, 고체 유기 금속 소스, 고체 금속 소스 및 가스 크래킹) 를 사용할 수 있습니다. 모든 소스는 강력한 컴퓨터 인터페이스를 통해 제어되며, 재료 제어 (material control) 및 샘플 동질성 (sample homogeneity) 에 대한 다양한 가능성을 제공합니다. 가열 된 전자 빔 (heated electron beam) 은 물질 증발에 사용되고, 고체 유기 금속 및 금속 소스에는 시약 (reagent) 과 도펀트 (dopant) 가 포함되어 있으며, 성장 챔버에 도입 될 수 있으며, 가스 크래킹 소스는 분할이 필요한 물질에 적합합니다. 성장 챔버에는 조정 가능한 온도, 압력 및 흐름 제어, 현장 열 처리 옵션 및 고속 파이프 온난화 (fast pipe warming) 및 자동 셔터 포지셔닝 (automatic shutter positioning) 과 같은 여러 편의 기능이 장착되어 있습니다. 이것 은 물질 조절 과 "기판 '의 높은 동질성 을 위한 광범위 한 가능성 을 제공 한다. 이 장치에는 온도 조절 배기 가스 정제 챔버 (tempering-controlled exhaust-gas purification chamber) 가 포함되어 있으며, 이는 성장 실에는 매우 낮은 수준의 불순물 만 존재하여 생산 고품질 물질로 이어집니다. 컴팩트 한 프레임과 낮은 진동으로 제작 된 401-1000 (401-1000) 은 순수 및 도핑 된 반도체 재료의 성장을 위해 설계되었으며, 금속에서 합금부터 monocrystalline 기질까지 다양한 기판을 제공 할 수 있습니다. 이 기계는 고급 반도체 장치 제작에 적합한 선택으로, 장치 제작 중에 생성 된 구조, 도펀트 (dopant), 결함 밀도를 월등히 제어합니다. 저진동 플랫폼은 왜곡 (distortion) 이나 결함 (defect formation) 없이 고품질 소재와 장치를 생산할 수 있도록 하고, 진행 중 스펙트럼 분석 (spectral analysis) 과 검출 (detection) 도구를 통해 생산 프로세스를 신속하게 특성화하고 모니터링할 수 있습니다. 연구 및 생산 응용 분야에 적합한 도구입니다.
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