판매용 중고 KAWASAKI 50607-1222 #9143637

KAWASAKI 50607-1222 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 최소 물리적 접촉을 사용하여 6 인치 실리콘 웨이퍼를 운송하고 처리하도록 설계된 정밀 웨이퍼 처리 도구입니다. 이 도구는 수동 처리 (manual handling) 방법을 대체하고, 처리 속도 향상, 수율 향상, 웨이퍼 최대 보호 기능을 제공합니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 프로세스 챔버에서 로드 및 언로드하기 위해 웨이퍼를 기울이고 방향을 정할 수있는 공구 헤드가 장착되어 있습니다. 공구 헤드 (Tool head) 에는 공구 헤드 본체의 주변을 따라 안전하게 장착 된 흡입 컵 배열이 있습니다. 이 설계는 운송 중 웨이퍼의 안정성을 보장하고 공정 챔버의 로드/언로딩을 보장합니다. 50607-1222 웨이퍼 핸들러는 로봇 팔과 컨트롤 콘솔로 구성됩니다. 로봇 팔 (Robotic Arm) 은 정밀 6축 동작 어셈블리로 공구 헤드를 원하는 좌표로 이동할 수 있습니다. 이 모션 어셈블리는 부드럽고 신뢰할 수 있는 모션을 제공하도록 설계된 인코더 (incoder) 와 컴포넌트 (componentry) 가 통합된 브러시리스 (brushless) DC 모터 세트에 의해 구동됩니다. "로봇 '암 의 정확 한 제어 는 높은 정확도 와 속도 로" 웨이퍼' 를 처리 하고 움직 일 수 있게 해 준다. 제어 콘솔 (Control Console) 은 로봇의 작업을 명령하고 제어하는 데 사용되는 기본 시스템입니다. 이 시스템은 산업용 마이크로 프로세서로 구동되며 사용자가 로봇 운동을 쉽게 조작 할 수있는 HMI (Human Machine Interface) 를 사용합니다. 또한 Control Console 은 다양한 웨이퍼 및 프로세스에 대한 일련의 로봇 동작 시나리오 (robotic motion scenario) 를 저장 및 회수할 수 있습니다. 또한 Control Console 에는 다양한 조건 (예: 동작 위치, 속도, 로드, 드라이브 매개변수) 을 모니터링할 수 있는 진단 센서 어레이가 장착되어 있습니다. KAWASAKI 50607-1222 Wafer Handler는 6 인치 실리콘 웨이퍼를 처리하기위한 고급적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 이 도구는 웨이퍼에 대한 정확한 지문 제어 (fingertip control) 가 가능하며, 운송 중에 안전하고 안정적으로 유지되고 프로세스 챔버에서 로드/언로드됩니다. 가볍고, 컴팩트하며, 사용자 친화적인 이 도구는 가장 까다로운 어플리케이션에서 실리콘 웨이퍼를 안전하고 정확하게 처리할 수 있도록 설계되었습니다. 견고한 디자인과 편리한 HMI 인 50607-1222 는 프로세스 자동화, 처리량 및 수익률 향상에 이상적인 Wafer 처리기입니다.