판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS TxZ Chamber for Endura #9234416
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판매
ID: 9234416
웨이퍼 크기: 8"
8"
Type: HP+
Part number / Description
0021-35922 / Chamber body
0010-37741 / Chamber LID cover
0040-45505 / Heater lift assy
625A-13127 (10 Torr) / Capacitance manometer (L)
624A-13092 (100 Torr) / Capacitance manometer (R)
0040-05294 / CVGGFT Assy
0040-76838 / LID Plate
1270-01652 / Over pressure switch
3870-02287 / Gate valve
TMP 361C / Turbo pump
3870-01213 / Turbo isolation valve
3870-01455 / Foreline isolation valve
0010-09035 / Throttle valve
0010-09035 / TC AMP PCB
PDX900-2V / Generator
Gas box:
MFC / STEC
He / 500 SCCM
H2 / 1 SLM
N2 / 1 SLM
HE / 1 SLM
Does not include:
Chamber gas line
Heater
Process kit
Integration kit.
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