판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-49247 #293821010

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2 Reactor는 최첨단 장비로, 반도체 재료, 광전자 또는 유전체의 증착과 같은 고급 씬 필라멘트 처리를 위해 설계되었습니다. 고유한 구성은 높은 진공, 저온 환경, 고급 재료 소스 패널을 결합하여 박막 두께, 컴포지션, 스텝 커버리지를 정확하게 제어할 수 있습니다. AMAT Endura 2 Reactor는 4 개의 저온 소스 패널로 둘러싸인 주요 챔버로 구성됩니다. 소스 패널에서 사용자는 금속, 산화물, 질화물, 폴리실리콘 (polysilicon) 과 같은 다양한 재료를 부착하여 정확한 온도에 가열 할 수 있습니다. 이를 통해 컴포지션, 스텝 커버리지, 열 저항성 (thermal resistivity) 과 같은 필름 특성을 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. 또한, 이 패널은 초박막 및 복잡한 증착 프로파일을 쉽게 사용할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura 2 Reactor 내부의 주요 챔버는 각 모서리에 위치한 4 개의 터보 분자 펌프로 유지되는 높은 진공 환경입니다. 챔버 (Chamber) 의 중앙에 위치한 통합 쿼츠 플레이트 (Integrated Quartz Plate) 는 소스 및 샘플 홀더가 장착 및 조작되는 강력한 플랫폼을 제공합니다. 챔버 내의 압력은 일반적으로 0.1-0.2 mtorr의 매우 낮은 범위로 감소하여, 불순물이 없는 초고 순도 증착을 가능하게합니다. 엔두라 2 (Endura 2) 의 효과적인 작동은 원하는 범위 내에서 압력을 유지하기 위해 헬륨 또는 아르곤 (argon) 과 같은 부분 챔버 필 가스가 필요합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2 Reactor는 메인 챔버 외에도 프로세스 변수를 정확하게 제어하고 반복 가능한 결과를 가능하게하기위한 통합 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 정밀 모션 컨트롤러 및 이더넷 통신이 장착 된 Xycom XPNT 제어 시스템 (Control Machine) 을 사용하여 사용자가 박막 증착을위한 동급 최고의 프로세스 레시피 데이터를 프로그래밍 할 수 있습니다. AMAT Endura 2 Reactor의 추가 장점에는 낮은 운영 비용, 비교적 작은 발 인쇄, 뛰어난 청결 기능이 포함됩니다. 환경 책임을 염두에두고 설계되었으며 MPZ 국제 품질 표준 (International Quality Standard) 에서 널리 인정 한 환경 인증을 받았습니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS Endura 2 Reactor는 고급 박막 처리를 위한 신뢰할 수 있는 컴퓨터 제어 플랫폼을 제공하며, 고품질 재료의 증착을 위해 정확하고, 반복 가능하며, 저렴한 결과를 얻을 수 있습니다.