판매용 중고 ROTH & RAU / OTB SOLAR MicroCluster400DRM #293608661
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ID: 293608661
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 2012
PVD System, 4"
Process: SiO2
(2) Magnetrons
(2) DRM Chambers
2012 vintage.
ROTH & RAU/OTB SOLAR MicroCluster400DRM은 OTB SOLAR 제품군의 고효율 태양 광 생산 장비입니다. 안정성과 고품질 태양 전지 생산을 위한 최고의 안정성과 가동 시간을 제공합니다. OTB SOLAR MicroCluster400DRM은 고가용성과 가동 시간을 자랑하는 반도체 생산에 이상적인 고급형, 확장 가능한 자동화 장비입니다. 자동화된 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 와 종합적인 재료 처리 시스템 (comprehensive material handling system) 이 있으며, 현대적이고 효율적인 제조 공정의 모든 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 통합 프로세스 제어 장치는 높은 정확도 교정과 다양한 사용 가능한 매개 변수를 제공합니다. 이 머신은 최적의 반복 처리 성능을 보장하며, 높은 수준의 품질 제어를 가능하게 합니다. 이 도구에는 4 가지 수준의 상호 작용이 있으며, 각각 다양한 자동, 수동 및 교정 매개 변수가 있습니다. 이러한 수준 (level) 을 통해 사용자는 사용자 지정 레시피를 만들고, 고유한 요구에 맞는 단계를 처리할 수 있습니다. ROTH 및 RAU MicroCluster400DRM은 에너지 효율적이며 단상 또는 3 상 전원으로 구동됩니다. 이를 통해 기존 시스템에 비해 에너지 비용이 크게 절감됩니다. 또한 열 복구 (heat recovery) 기술을 통해 프로세스의 초과 에너지를 활용하여 일관된 작업 환경을 유지합니다. 이 제품은 레이저 검사 및 감지, 온도 모니터링 및 제어, 비상 전원 스위치 (Emergency Power Switch) 와 같은 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. 따라서 성능 및 프로세스 무결성을 보장할 수 있습니다. MicroCluster400DRM은 시간당 약 400 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이는 대용량 생산에 유리하며, 효율성이 향상되고 운영 비용이 절감됩니다. 전반적으로 ROTH & RAU/OTB SOLAR MicroCluster400DRM은 태양 전지 생산을 더욱 안정적이고, 비용 효율적이며, 효율적으로 만들 수있는 광범위한 기능을 갖추고 있습니다. 자동화된 웨이퍼 처리 (wafer handling) 와 종합적인 재료 처리 자산, 매우 정확한 프로세스 제어 모델, 고급 안전 기능 (safety features in one package) 을 결합한 것입니다. 고가용성, 가동 시간, 낮은 에너지 소비량, 고급 안전 기능, 고성능 기능으로 인해 태양전지 생산에 이상적인 선택이 됩니다.
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