판매용 중고 ROTH & RAU DEPx1500 #185721

ROTH&RAU DEPx1500은 고성능 및 최대 처리량을 위해 설계된 다용도 태양 광 생산 장비입니다. 이 생산 기계는 고효율 후면 태양 전지 (back-efficient back surface solar cell) 생산을 포함한 다양한 응용 분야에서 지속적인 운영을 위해 설계되었습니다. 이 태양 광 생산 장비에는 유연한 처리 모듈 플랫폼이 장착되어 있어 고품질의 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 처리가 가능합니다. 고급 프로세스 자동화 (Advanced process automation) 기능은 여러 셀을 동시에 자동으로 처리할 수 있으며, 특정 자동 루틴을 설정하여 운영 시간을 최소화하고 처리량을 극대화할 수 있습니다. DEPx1500은 처리에 에치 및 증착 기술을 사용합니다. 에치 (etch) 기술은 웨이퍼의 최상위 층에서 실리콘을 제거하고 기본 층에 실리콘을 배치합니다. 에칭 과정에서 장치는 최소한의 재배치, 깊은 균일 한 트렌치 및 높은 에치 레이트로 균일 한 라인 패턴을 생성합니다. 이 장치에는 또한 질화 실리콘, 이산화실리콘, 비정형 실리콘과 같은 필름을 균일하게 퇴적시키는 증착 기능이 있습니다. ROTH 및 RAU DEPx1500은 빠른 속도와 결함이 적은 생산을 위해 설계되었습니다. 더 빠른 주기를 위해 대용량 워크 테이블 (Worktable) 및 에너지 효율적인 펌핑 시스템을 갖추고 있습니다. 진공 시스템은 온도 균일성과 균일 한 압력을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 자동화 된 웨이퍼 매핑 머신 (automated wafer mapping machine) 이 있으며, 이는 주어진 프로세스 조건의 웨이퍼의 표면 지형을 측정 할 수 있습니다. DEPx1500에는 폐기물을 줄이기 위해 통합 품질 제어 및 결함 검사 시스템도 포함되어 있습니다. 레이저 기반 결함 검사 시스템은 누락 또는 잘못 정렬 된 표면 특징 및 입자 오염을 감지 할 수 있습니다. 소프트웨어 제어 매개변수는 정확한 제어 및 정확한 프로세스 재현성을 제공합니다. 또한 ROTH 및 RAU DEPx1500은 고급 안전 기능으로 설계되었습니다. 그것 은 안전 하게 결합 된 "베이스플레이트 '를 가지고 있어서 잠재적 인 전기 및 열 위험 에 대한" 웨이퍼' 손상 과 안전 을 방지 한다. 고급 온도 관리 시스템 (High-End Temperature Management System) 은 온도 손실을 더욱 방지하고 기판 및 공정 온도가 지정된 프로세스 매개변수에 따라 유지되도록 합니다. 이로 인해 DEPx1500은 안전하고 안정적인 태양 광 생산 장비입니다.