판매용 중고 RENA InWaClean #9096767
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ID: 9096767
빈티지: 2008
Wafer washing machine,
Configured for (8) lanes of 156mm X 156 mm wafers
2000 Wafers/hr.
Power: 380-400V AC +5% 3Ph+N+PE, 50 Hz 138A (full power)
CDA: Approx. 10 Nm³/h compressed air for pneumatics and rinse components
Approx. 80 Nm³/h clean dry air for wafer dryer,
DI Water: DI without DI-reprocessing stage approx. 4.0 m³/h ave, 12.0 m³/h peak
Process Exhaust: Approx. 2,000 m³/h
Internet Connection: Ethernet
Process Drain: approx. 4.0 m³/h ave, 12.0 m³/h peak
Detergent / Surfactant Consumption approx. 0,6 l/h
Chilled Water: 120 l/min (peak) 90 l/min ave
2008 vintage.
RENA InWaClean은 태양 전지 생산의 효율성을 극대화하기 위해 설계된 최첨단 태양 광 생산 장비입니다. 에피 택시, 도핑, 에칭, 박막 재료 증착 및 기타 자동화 된 작업과 관련된 태양 광 (PV) 세포 제조 공정을 위한 혁신적인 기계입니다. InWaClean은 두 가지 주요 기능을 제공합니다. 첫째, 도펀트 가스의 확산을 위해 인 (phosphorus) 과 붕소 (boron) 와 같이 매우 얇은 물질의 퇴적을 통제 할 수 있습니다. 둘째, 자동 청소 기술은 최적화 된 진공 장비 및 플라즈마 처리를 사용하여 웨이퍼에서 입자와 오염 물질을 줄입니다. 이렇게 하면, 결과 세포 의 질 을 손상 시키지 않고 청소 하는 데 필요 한 시간 이 현저 히 줄어든다. RENA InWaClean은 안정적이고 고성능 시스템으로, 시간당 최대 6900 웨이퍼 속도에서 최대 8 인치 직경을 생산할 수 있습니다. 고급 자동화는 모든 프로세스 단계에서 정확하게 제어하여 반복 가능한 프로세스를 보장합니다. 통합 시각적 제어 장치 (Integrated Visual Control Unit) 는 자동 결함 감지 (Automated Defect Detection) 와 수동 개입 (Manual Intervention) 을 결합하여 오류를 제거합니다. 에너지 사용량은 S50 컨트롤러, 올인원 머신 컨트롤러, HFS (고효율 여과기) 와 같은 첨단 기술 구성 요소를 통해 최소화됩니다. 이러한 구성요소를 함께 사용하면 환경에 미치는 영향을 최소화하면서 에너지 사용을 효율적으로 수행할 수 있습니다. InWaClean 은 사용자 친화적인 비주얼 인터페이스 (Visual Interface) 와 메뉴 기반 창으로 설치 및 작동이 간편합니다. 내장된 진단 (Diagnostics) 모니터의 운영 성능은 운영자에게 잠재적인 문제를 경고하는 반면, 데이터 분석 (data analysis) 및 운영 통계 (Production Statistics) 는 향후 검토를 위해 저장됩니다. RENA InWaClean (RENA InWaClean) 은 고품질 태양 전지 생산을 최적화하기 위해 최신 기술로 설계된 혁신적인 태양 광 생산 장비입니다. 신뢰할 수 있는 자동화 및 고급 클리닝 기술을 통해 안정적인 성능, 높은 수준의 정확성, 최소한의 에너지 사용량을 보장할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스 덕분에, 누구나 쉽게 작동할 수 있으며, 모든 PV 프로세스 연구소에 적합한 선택입니다.
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