판매용 중고 LEYBOLD HERAEUS SV300 #9190350
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LEYBOLD HERAEUS SV300은 모든 유형의 태양 광 전지에 대한 흡수 필름 및 패널의 고효율 생산을 위해 설계된 태양 광 생산 장비입니다. 최대 96% 의 최적의 성능 효율성을 제공합니다. 이 태양 광 생산 장비에는 독보적인 박막 증착 장비가 장착되어 있어 매우 높은 수준의 성능과 정확성을 보장합니다 (영문). SV300 은 다재다능하고 신뢰할 수 있는 툴로서, 단일 프로세스 단계에서 고품질 흡수기를 개발할 수 있습니다. 이 장치는 증발기 챔버, 증착실, 진공 펌프, 이온 소스, 공정 제어 장치 및 가스 관리 시스템으로 구성됩니다. 증착 중 흡수 물질의 특성을 결정하기 위해 DSC (direct drive differential scanning calorimetry) 가 장착되어 있습니다. 증발기 챔버는 프로세스 매개변수 및 균일 한 증착을 정확하게 제어하도록 설계되었습니다. 부식 내성 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어져 특수 스퍼터링 다이오드에 의해 가열되며, 효율적이고 균질 한 물질 증착을위한 에너지를 제공합니다. 증착 챔버 (deposition chamber) 에는 여러 가지 전도성 및 비 전도성 금속 공급원이 장착되어 있으며, 이 금속은 기판에서 증착에 사용될 수 있습니다. 박막 증착은 PCU (Process Control Unit) 로 모니터링 및 제어할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 온도, 증착률 및 기타 매개변수와 같은 매개변수를 모니터링하고 조정 할 수 있습니다. LEYBOLD HERAEUS SV300은 또한 사용자가 증착 프로세스를 모니터링하고 제어 할 수있는 소프트웨어 패키지 (LEYCORE) 를 제공합니다. 이 소프트웨어는 사용자에게 친숙한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 제공하며 기판 두께, 증착 속도, 에칭 패턴 등의 매개변수를 빠르게 변경할 수 있습니다. LEYCORE 소프트웨어는 또한 증착 모드 선택을 용이하게하며, 향후 프로세스 조건에 대한 레시피를 저장할 수있는 기능을 제공합니다. 또한, SV300 은 가스관리 장치 (gas management unit) 를 갖추고 있어 사용자가 증착 과정을 완전히 제어할 수 있도록 도와줍니다. 이 기계는 사용자가 가스 유량을 정확하게 설정하고, 장비를 압박하고, 가스 전달 시간을 조정할 수 있도록 합니다. 이 도구는 또한 증발기 및 증착실의 가스 수준을 모니터링합니다. LEYBOLD HERAEUS SV300은 태양 광 전지 제조를 위해 효율적이고 유연한 생산 프로세스를 제공하는 고급 태양 광 생산 장비입니다. 또한 프로세스 속도 향상, 처리량 향상, 수익률 향상 등 고품질 흡수 계층을 생성할 수 있습니다. 이 태양 광 생산 장비는 모든 태양 광 전지 제조에 이상적이며, 최고의 비용 효율성을 제공합니다.
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