판매용 중고 DISCO EAD 6340R #9262549

DISCO EAD 6340 (DISCO EAD 6340) 은 반도체 웨이퍼의 다이킹을 위해 설계된 자동화된 정밀 스크라이빙 및 다이빙 장비입니다. 이 시스템은 스크리빙 레이저 (scribing laser) 와 다이아몬드 팁 (diamond-tipped) 다이킹 블레이드 (dicing blade) 를 모두 통합하여 웨이퍼 스크리빙과 다이버 마운팅 레이저 다이저를 사용합니다. 이 장치는 10-200äm scribe allowance, 최대 2 인치 최대 웨이퍼 크기 및 ± 300äm scribe pitch 정확도의 광범위한 작동 범위를 통합합니다. EAD 6340은 정밀한 그루브 및 마이크로 팁 기능을 생성하는 고출력 CO2 레이저 스크리빙을 사용합니다. 딥 라인 스크리빙 응용 프로그램 (Deep Line Scribing Application) 에서, 레이저 헤드는 스크라이브 후 편집 중에 깨끗한 컷을 제공하고, 높은 반사 및 흡수 기판을 스크리빙하도록 설계되었습니다. 또한, 레이저 헤드는 높은 강성을 가지고 있어 웨이퍼 처리에 매우 높은 정확성을 보장합니다. 아이디 6340 (EAD 6340) 에는 다이빙 블레이드 (dicing blade) 의 절단 각도 및 거리를 조정하기 위한 레이저 스캔 도구와 함께 다이빙 블레이드 (dicing blade) 냉각용 핫 에어 제트 머신이 포함되어 있습니다. 또한, 에셋에는 고정밀 (high-precision) 3 차원 모션 컨트롤러가 장착되어 있으며, 이 모션 컨트롤러는 다이빙 블레이드의 위치와 움직임을 정확하게 제어할 수 있습니다. 고급 모션 제어 기술을 통해 EAD 6340 은 프로세스 조건이 변경되어도 고속 처리를 지원합니다. 또한, EAD 6340의 통합 자동 정렬 모델 (Integrated Automated Alignment Model) 은 임베디드 비디오 장비를 사용하여 기판의 웨이퍼 슬라이스를 정확하게 정렬합니다. 이 시스템은 매우 정확한 정렬 외에도 고급 웨이퍼 에지 인식 장치 (Advanced Wafer Edge Recognition Unit) 를 사용하여 프로세스 균일성 및 웨이퍼 수율을 향상시킵니다. EAD 6340 에는 고압 안전 밸브 (High-Pressure Safety Valve), 가스· 입자의 배출을 막아 환경· 근로자를 보호하는 연료수집기 (Fume Collection Machine) 등 통합된 안전성 기능도 포함된다. 게다가, 이 도구의 사용자 친화적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 는 효율적인 웨이퍼 처리를 위해 쉽고 직관적인 작동을 보장합니다. 전반적으로, DISCO EAD 6340은 반도체 웨이퍼의 정밀 스크리빙 및 다이빙을위한 유능하고 다재다능한 자동화 자산입니다. 정교한 모델 설계는 다양한 복잡한 제작 작업에 대해 일관되게 정확하고 안정적인 성능을 보장합니다 (영문).