판매용 중고 DISCO EAD 6340 #9357322
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DISCO EAD 6340 (DISCO EAD 6340) 은 반도체 장치의 제작에 가장 높은 성능과 정확성을 제공하도록 설계된 아트 스크리빙/다이빙 (Art Scribing/Dicing) 장비의 상태입니다. 이 시스템은 다음과 같은 다양한 작업을 수행할 수 있습니다. - 레이어 스크리빙 (Layer scribing) 및 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 와 같은 기판의 다이빙 (dicing). - 기판에 패턴의 고해상도 스크리빙입니다. - 모서리 트리밍 (Edge triming) 을 사용하여 기판 모서리에서 과도한 재료를 잘라냅니다. - 반도체 장치의 유전층 레이저 용접. -파트 상단 표면의 레이저 표시. EAD 6340에는 3 개의 워크 스테이션이 있습니다. Scribe Station, Dicing Station 및 Edge Trim Station. Scribe Station은 스캔 범위가 ± 45 ° 인 고해상도, 전동 광학 헤드를 사용합니다. 이 기능은 다양한 선 (line) 너비와 각도를 스크리빙하여 최고 수준의 정확도를 보장할 수 있습니다. 또한, 아날로그 서보 컨트롤러 장치는 반복 패턴 제작을 위해 완전한 3 축 제어 및 반복 가능성을 제공합니다. 다이빙 스테이션 (Dicing Station) 은 두께가 최대 5 천 m 인 기판을 통해 주사위를 만들 수있는 기능을 제공합니다. 기계의 자동 초점 기능, 레이저 다이오드 (laser diode) 및 조정 가능한 패스 깊이 (pass depth depth) 는 기판의 완전한 절단을 보장합니다. 에지 트림 스테이션 (Edge Trim Station) 에는 기판 가장자리의 정밀 트리밍을 보장하기 위해 고속, 고밀도 절삭 건 (cuting gun) 및 고급 프로그래밍 기능이 장착되어 있습니다. 또한, DISCO EAD 6340은 장치의 유전층에 대한 이중 축, 자동 레이저 용접을 제공합니다. 레이저 다이오드는 높은 정확도와 반복성을 제공하는 반면, 이중 축 힘 제어 도구 (dual-axis force control tool) 는 최대 정확도를 보장합니다. 마지막으로, 부품의 상단 표면에 대한 레이저 (Laser) 표시와 기록을 다양한 재료에 사용할 수 있습니다. 이 에셋은 자동화된 높이 제어 및 고정밀도, 전동식 위치를 제공하여 정확하고 반복 가능한 마킹을 제공합니다. 전반적으로, EAD 6340은 반도체 장치의 제작에 대한 정확성과 반복성을 보장하는 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 전동식 광 헤드, 이중 축 힘 제어, 높이 제어, 고급 프로그래밍 기능을 통해 스크리빙/다이빙 (scribing) 작업을 위한 탁월한 솔루션을 제공합니다.
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