판매용 중고 DISCO EAD 6340 #9272454
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ID: 9272454
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Dicing saw, 12"
With HANMI 3000D Jig saw
Saw engine
Footprint: 2800 mm x 1500 mm x 1850 mm
Substrate size:
Width: 35 mm~70 mm
Length: 150 mm~250 mm
Package handle capability: 4 x 4 up to 16 x 18
Blade size: 58 mm
Single saw chuck table
High productivity:
Dual spindle saw engine
Dual transfer system
Advance HANMI vision inspection system
UPH: 13000 (Handler only)
Accuracy: ±0.05 mm
Allowable substrate warpage: 1 mm
SECS/GEM
Does not include HDD
2004 vintage.
DISCO EAD 6340은 다양한 Scribing/Dicing 어플리케이션에 높은 정확도, 반복 가능성 및 유연성을 제공하도록 설계된 스크리빙/다이빙 장비입니다. 레이저 마이크로 프로세싱을위한 인기있는 시스템 범위인 DISCO EAD 시리즈 (DISCO EAD series) 의 최신 제품입니다. 시스템은 두 가지 주요 구성 요소 (스크리빙/다이킹 헤드 및 스캐너) 로 구성됩니다. 스크리빙 헤드는 소재에 따라 + -50 nm의 반복 가능성으로 최대 4,000 개의 절단 펄스 (Cutting Puls) 와 400 개의 스크리빙 라인 (Scribing Line Per Second) 을 정확하고 반복 할 수있는 초저판 레이저를 사용합니다. 스캐너는 고정밀 galvanometer 스캐너가있는 설치된 galvo 스캐너 헤드로 구성됩니다. 이 스캐너는 절단 시 속도, 위치, 가속도, 정밀도와 같은 매개변수를 제공하여 다양한 절삭 작업과 피쳐를 쉽게 실행할 수 있습니다. 갈보 구동 스캐너는 각 노드에 대해 0.15 "m '의 해상도로 초당 최대 50 개의 패턴과 패턴 당 최대 5 개의 스톤을 처리 할 수 있습니다. 이 장치에는 초 박막 공정 (ultra-thin film process) 이 포함되어 있으며, 이 공정을 통해 기계는 유리 기판 및 반도체 재료와 같은 매우 얇은 재료를 처리 할 수 있습니다. 절단, 전송 스크리빙, 마모 등 다양한 처리를 수행 할 수 있습니다. 초박막 공정은 + -25nm의 절단 정확도, + -45nm의 반복 가능성, 최대 10,000 절단 펄스/초의 절단 속도를 제공합니다. EAD 6340 (EAD 6340) 은 다양한 제어 소프트웨어를 제공하여 공구 프로그래밍 작업을 단순화하며, 사용자는 절삭 프로세스를 사용자 정의하고 최적화할 수 있는 유연성을 제공합니다. 이 소프트웨어는 사전 설정된 라이브러리, 프로그래밍 템플릿, 시뮬레이션 및 평가 도구, 자동 절단, 분할/병합 기능 등 다양한 기능을 제공하여 다양한 응용 프로그램에 적합한 자산을 제공합니다. 전체 모델은 높은 정확성, 반복성 및 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 따라서 DISCO EAD 6340은 정확하고 반복 가능한 스크리빙/다이빙이 필요한 애플리케이션에 적합합니다. 이 장비는 또한 두꺼운 필름 (thick film), 박막 (thin film), 단결정 (single crystal) 기판, 전자 업계에 사용되는 다양한 재료 등 다양한 재료를 처리해야 하는 사용자들에게도 적합합니다.
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