판매용 중고 DISCO DFL 7160 #9115075
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DISCO DFL Series 7160은 웨이퍼 톱질 및 레이저 처리를위한 스크리빙/다이빙 장비입니다. 다용도가 높으며, 실리콘, 유리, 반도체 기판 등 다양한 재료를 빠르고 정확하게 처리 할 수 있습니다. 시스템은 기판의 정확한 절단 및 정렬을 위해 3 축 좌표 단위를 사용합니다. 7160에는 최적 압력 균일성과 높은 처리량을 보장하기 위해 부동 헤드가 있습니다. 높은 토크 드라이브 머신, 나선형 냉각 도구, 독립적 인 열 제어 기능이있는 4 채널 예열 에셋이 특징입니다. 7160은 최대 두께가 2.5 mm 인 12 인치 웨이퍼의 최대 허용 가능한 웨이퍼 크기를 제공합니다. 유연한 프로세스 모니터링, 레이저 스팟 크기 (laser spot size) 및 스크리빙 속도 설정을 통해 고품질 스크리버 표시를 생성할 수 있습니다. 또한 회로 또는 기능의 레이저 절제에도 사용할 수 있습니다 (25 äm). 모델에 통합 된 7160의 고급 CCD 카메라는 웨이퍼 패턴을 인식하고 스크리빙/다이빙 경로를 계산할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 정확한 절단과 정확한 스 플라이 싱이 가능합니다. 또한, 섬유-광섬유 검출 (fiber-optic detection) 을 통해 물질이 검출기 아래에 있을 때만 레이저가 정확하게 움직일 수 있습니다. 사용자 지정 가능한 통합 소프트웨어를 사용하면 설정 시간 (최소) 을 초과하여 자동 스크리빙/디싱 (dicing) 작업을 위한 장비를 쉽게 설정할 수 있습니다. 또한 온도 조절, 피드 포워드 (feed-forward) 및 피드백 속도 제어 등 다양한 프로세스 제어를 제공합니다. 7160은 컴팩트한 디자인과 뛰어난 성능을 제공합니다. 뛰어난 에지 고정, 깨끗한 칩핑 및 최소한의 폐기물을 제공합니다. 이 시스템에는 먼지 추출 기능, 수명 연장 및 소음 수준이 낮습니다. 고급 기능, 견고성, 유연성을 갖춘 DISCO DFL Series 7160은 고급 반도체 및 의료 기기 제작 프로세스에 적합합니다.
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