판매용 중고 DISCO DFD 651 #9395442

ID: 9395442
웨이퍼 크기: 6"-8"
Fully automatic dicing saw, 6"-8" BBD and NCS Porous chuck, 8" Monitor PC.
디스코 DFD 651 (DISCO DFD 651) 은 경제적인 제조가 가능한 컴팩트하고 가벼운 디자인을 갖춘 스크라이빙 및 다이빙 장비입니다. 이 제품은 웨이퍼 처리의 정확성과 속도를 극대화하기 위해 특별히 설계되었습니다. 이 시스템은 3 상 로봇을 사용하여 작업 영역을 따라 디스크를 정확하게 이동합니다. 완전 자동 (Fully Automated) 프로세스를 통해 2 개의 축으로 스크리빙하고 사전 설정된 프로그램을 따라 3 개의 축으로 절단할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 회전을 모니터링하기위한 내장 비전 유닛 (vision unit) 과 직관적인 터치 스크린 인터페이스를 갖춘 맞춤형 컨트롤러 (Customized Controller) 를 통해 조작자 프로그래밍이 용이합니다. 이 기계의 스크라이빙 (scribing) 부분은 레이저 빔을 사용하여 높은 정밀도와 속도로 웨이퍼 (wafer) 에 미리 정의된 패턴을 스크라이브합니다. 레이저 빔의 동작 및 위치는 3 상 로봇에 의해 정확하게 안내되고 인코더 피드백 (encoder feedback) 에 의해 정확하게 측정됩니다. 이 도구는 정확성을 유지하면서 시간당 최대 240 개의 웨이퍼를 망칠 수 있습니다. "에셋 '의 절단 부분 에는" 웨이퍼' 에 초점 을 맞추는 여러 개 의 "레이저 '가 포함 되어 있는데, 이것 은" 웨이퍼' 의 선택 된 부분 을 급속 히 가열 시킨다. 가열 (heat-up) 섹션의 확장과 빠른 냉각 (rapid cooling) 은 정의 된 선을 따라 잘 갈라집니다. 이 프로세스는 또한 3 상 로봇에 의해 모니터링 및 조절되어 컷의 정확성과 속도를 보장합니다. DISCO DFD651은 또한 냉각용 블레이드를 냉각시키고 윤활화시켜 마모 (wear) 와 눈물 (tear) 을 줄이는 내장 냉각 모델을 갖추고 있습니다. 게다가, 장비 설계를 통해 다른 프로세스와 통합 할 수 있으며, 컨테인먼트 전송 시스템 (containment transport system) 은 먼지 없는 처리를 보장합니다. 전반적으로, DFD-651 은 매우 생산적이고, 비용 효율적이며, 신뢰할 수 있는 장치로, 기존 운영 라인에 쉽게 통합될 수 있습니다. 빠른 속도, 효율성, 웨이퍼 (wafer) 를 정확하게 스크리빙하고 dicing 할 수 있으므로 대규모 운영 실행에 이상적입니다.
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