판매용 중고 DISCO DFD 651 #9196088

DISCO DFD 651은 DISCO Hi-Tec, Inc.에서 개발 한 스크라이빙 및 다이빙 장비입니다. 이 회사는 20 년 이상 사용되어온 회사의 혁신적인 "Scribing Technology" 를 기반으로합니다. 이 장치는 여러 구성 요소를 활용하여 고정밀도 스크리빙 (scribing) 및 dicing 성능을 제공합니다. 이 시스템은 실제 스크리빙 도구, 디지털 제어 엔드 이펙터/웨이퍼 스테이지, 비디오 검사 및 풀 사이즈 스크리버 베이스를 포함하는 "헤드" 로 구성됩니다. 고속 스크리버 헤드에는 레이저 빔과 2 개의 레이저 검출기, 3 개의 다이아몬드 스크라이빙 도구, 2 개의 나이프 블레이드 및 2 개의 스테이플러 헤드가 장착되어 있습니다. 2 개의 나이프 블레이드는 최대 50 미크론을 자를 수있는 반면, 3 개의 다이아몬드 스크라이빙 도구는 3 미크론 너비의 라인을 분류 할 수 있습니다. 디지털 제어 엔드 이펙터/웨이퍼 스테이지에는 PLC (Programmable Logic Controller) 가 제어하는 X축 포지셔닝 테이블이 장착되어 있습니다. 이 단계 에서는 "스크리버 '머리 가" 스크리빙' 궤적 을 따라 움직 이면서 기판 을 제자리 에 두게 한다. 또한, 스테이지를 프로그래밍하여 응용 프로그램에 따라 패턴 화 및/또는 무작위로 배치 된 기판을 다양한 컷 (cut) 할 수 있습니다. 이 장치에는 고급 비디오 검사 기술 (Advanced Video Inspection Technology) 도 있습니다. 이 기술은 표면 오염을 감지하고 웨이퍼 평면도 및 표면 롤링을 평가하는 데 사용됩니다. 검사 기계는 레이저 (laser) 와 카메라 (camera) 를 사용하여 기판의 표면을 모니터링하여 PLC에 실시간 피드백을 제공하는 센서 배열로 구성됩니다. 스크리빙이나 결정이든, DISCO DFD651은 뛰어난 성능을 제공하기 위해 작동합니다. 스크리빙 도구 (scribing tools) 와 고급 검사 시스템 (advanced inspection system) 은 정확하고 안정적인 결과를 제공하여 높은 유형의 기판을 매우 정확하게 처리 할 수 있습니다.