판매용 중고 DISCO DFD 640 #9266371

DISCO DFD 640은 DISCO Corporation에서 설계하고 반도체 및 장치 제조에서 전문적인 산업용으로 설계된 스크라이빙/다이빙 장비입니다. 이 시스템은 각각 6 축 레이아웃에 통합 된 3 가지 주요 구성 요소 (기판 홀더, 스크리빙 헤드 및 모션 제어 장치) 로 구성됩니다. 기판 보유자는 최대 8 "x 8" 의 샘플을 복용 한 다음 공기 쿠션 장치를 통해 홀더에 고정됩니다. 이 "쿠션 '기계 는" 홀더' 를 통하여 진공 을 만들어 열 팽창 의 영향 을 최소화 시킨다. 이를 통해 각 샘플에서 정확한 측정이 가능합니다. 스크리빙 헤드는 UV 레이저를 광원으로 하는 고해상도 X-Y 싱글 포인트 스캐닝 에셋 (X-Y single point scanning asset) 을 갖춘 도구의 핵심입니다. 이 레이저는 각 축에서 최대 1 ° m 해상도를 사용할 수 있으며, 양면 패턴을 분류 할 때 완벽한 정확도를 제공합니다. 정밀도를 높이기 위해 스크리빙 헤드에는 샘플 컨투어에 따라 레이저 위치를 자동으로 조정하는 AFR (Automatic Feature Recognition) 모델도 포함됩니다. 동작 제어 장치는 기판 서피스에서 정확한 이동을 담당합니다. 정밀 모터 인코더와 마이크로 스테핑 드라이버 (micro-stepping driver) 가 장착되어 세밀하고 정확한 패턴 스크라이빙을 제공합니다. 또한 장비는 최대 8m/s의 속도로 X-Y-Z 축을 따라 움직일 수 있습니다. 이 시스템에는 스크리빙 작업을 제어하기 위해 2 차원 마스크 에디터 (mask editor) 와 함께 사용할 수있는 통합 소프트웨어도 제공됩니다. 또한, 임베디드 프로세스 제어 (Embedded Process Control) 소프트웨어를 사용하여 처리 후 스크리브 패턴에 대한 자세한 검사 및 분석을 제공 할 수 있습니다. 전반적으로 DISCO DFD640은 고속, 정확성 및 신뢰성을 갖춘 강력한 기계입니다. 이 제품은 대량 생산 (mass production) 과 저용량 (low-volume) 스크리빙과 다이빙 (dicing) 모두에 적합하며 반도체 업계의 제조에 유리한 도구입니다.