판매용 중고 DISCO DFD 6361 #9079271
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판매
ID: 9079271
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Dicing saw, 12"
Specification:
Workpiece size: Max.0300 mm
X-axis:
Cutting range: 310 mm
Cut speed: 0.1 ~ 600 mm/s
Y1-axis and Y2-axis:
Cutting range: 310 mm
Index step: 0.0001 mm
Index positioning accuracy: 0.003/310 mm (Single error) 0.002 or less/5
Scale resolution: 0.0001 mm/s
Z1-axis and Z2-axis:
Max. stroke: 14.7 mm (for 2" blade)
Moving resolution: 0.00005 mm
Repeating accuracy: 0.001 mm
Max blade size: 058 mm
Θ-axis:
Max. rotating angle: 380°
Spindle:
output: 1.2 kW at 60,000 min
Rated torque: 0.19 N-m
Revolution speed range: 6,000 ~ 60,000 min^-1
Applicable tape frame: 2-12
Utilities
Power supply:
200 ~240VAC ±10%
3 Phase
50/60 Hz
Power consumption:
Processing: 2.2 kW
Warm-up: 1.8 kW
Air pressure: 0.5 ~ 0.8 MPa
Average air consumption during operation: 189.0L/min (for reference)
Clean air pressure: 0.5 ~ 0.8 MPa
Average clean air consumption duriig operation: 65.0 L/min (for reference)
Cutting water and water curtain:
Water pressure: 0.2-0.4 MPa
Max. consumption flow rate:
Cutting water: 12
Water curtain: 1
Other: 1
Cooling water:
Water pressure: 0.2-0.4 MPa
Consumption flow rate: 3.0 at 0.3 MPa
Exhaust duct capacity: 5.0 m²/min
Spindle: 1.2KW
Table: 8" porous chuck table & spinner table
Blade breakage detector
Non-contact setup
Hub wheel mount: 2"
Spinner atomizing nozzle
Transformer: 380-415V
UPS
Ionizer
Inspection cassette type
Cassette: DTC2-8 type (The tape frame DTFS215-01 is also available)
Wheel cover: Z1&Z2 Standard (Three o’clock nozzle/2.0), 2" wheel mount
Spinner nozzle height: Standard (21.5 mm)
Default frame setting: FF-105
Default cassette setting: FFM-41970-07
Power frequency: 50Hz
Spindle revolution: Z1 is 30,000 min-1 max-60,000, Z2 is 30,000 min-1 max- 60,000
EMO Guard ring
Sylus pen
2004 vintage.
DISCO DFD 6361은 반도체 장치, 디스플레이 및 인쇄 회로 보드의 고정밀도, 고품질, 고속 처리를 제공하도록 설계된 스크라이빙/다이빙 장비입니다. 레이저 스크라이빙과 레이저 커팅 기술을 결합한 혁신적인 시스템입니다. 이 장치는 Advanced Servo Motion Control Machine과 통합되어 있으며 레이저 빔 초점, 레이저 펄스, 레이저 빔 초점 속도 및 레이저 펄스 출력 전원을 제어 할 수 있습니다. DISCO DFD6361 은 매우 유연한 툴로서 다양한 애플리케이션에서 사용할 수 있습니다. 서기관 (scribe) 과 주사위 (dice optics) 는 특정 응용 프로그램에 맞게 조정할 수 있으며, 고정된 서기관 (scribing) 및 주사위 (dicing) 작업을 위해 자산을 구성할 수 있습니다. 이를 통해 반도체 장치의 골절 및 보호 계층을 토빙하거나, 인쇄 회로 기판 (printed circuit board) 에서 원치 않거나 원치 않는 패턴 또는 영역을 선택적으로 제거 또는 컷아웃하는 경우, 설계 유연성을 사용할 수 있습니다. 이 모델은 정밀도 (precision) 와 속도 (speed) 에 따라 뛰어난 결과를 얻을 수 있습니다. "레이저 '는 맥박 폭 이 600 도 안 되는 것 을 생산 할 수 있으며, 그 장비 는 서기관 과 주사위 수술 을 위한 극히 반복 할 수 있는" 타이밍' 해상도 를 제공 한다. 이 시스템은 또한 연약한 부품의 패턴 처리 (pattern processing) 및 처리 (handling) 와 관련하여 뛰어난 반복성을 제공 할 수 있습니다. DFD 6361 은 많은 산업용 어플리케이션에 필요한 엄격한 품질, 안정성 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 장치는 유지 보수 요구 사항이 낮고, 여러 가지 안전 (Safety) 기능을 지원하도록 설계되었습니다. 내장형 먼지 제거 장치, 먼지 추출 팬 (dust extraction fan), CCD 이미지 인식 툴 (Recognition Tool) 을 통해 자산이 장치 또는 원치 않는 처리 영역의 상호 절단을 피할 수 있습니다. 이 모델은 또한 모니터링/제어 장비 (monitoring and control equipment) 를 통합하여 수작업 (manual intervention) 의 필요성을 줄여 일관되게 품질 제어를 향상시킵니다. 전반적으로, DFD6361 Scribing and Dicing System은 다양한 산업 응용 프로그램의 요구를 충족시키는 최첨단 장치입니다. 강력한 디자인 덕분에 사용자 친화적인 제어 시스템, 고성능, 강력한 안정성 표준을 제공합니다. 제조 요구 사항을 충족하기 위해 고품질, 신뢰성 있는 머신을 원하는 모든 기업에게 적합한 옵션입니다 (영문).
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