판매용 중고 DISCO DFD 6360 #293606550

DISCO DFD 6360 스크라이빙/다이빙 장비는 반도체 칩과 같은 연약한 기판의 다이빙 및 스크라이빙을 위해 설계된 정밀 시스템입니다. 이 장치는 회전 테이블, 레이저 소스, 레이저 광학, XY 축, 초점 광학 및 자동 정렬 액세서리로 구성됩니다. 기계의 표는 직경 10 인치 알루미늄 플레이트이며, 직류 모터와 기계식 브레이크가 장착 된 볼 스크류 드라이브 도구 (ball-screw drive tool) 를 사용하여 정확한 위치를 지정합니다. 회전 테이블은 최대 4 개의 기판을 가질 수 있으며, 단계 증가를 사용하여 1도 단위로 색인화할 수 있습니다. 회전 테이블의 속도는 0 ~ 100rpm 사이에서 정확하게 제어 할 수 있으며 브레이크는 최대 20N (2kg) 의 압력으로 위치를 유지하도록 설정 할 수 있습니다. 자산은 펄스당 35mJ를 생성 할 수있는 주파수 2 배 Nd: YAG 레이저로 구동됩니다. 레이저는 동기화된 펄스 생성기, 옵티컬 픽업 (optical pickup) 및 높은 정밀도 컷을 위한 맞춤형 옵틱과 통합됩니다. 레이저 광학에는 최대 300um의 레이저 스팟 크기로 최대 9 인치까지 초점 길이에 조절 가능한 초점 렌즈 (f = 50mm 및 100mm) 가 포함됩니다. XY 스테이지는 정밀도로 고속 포지셔닝이 가능하며, 내장형 현미경 (microscope) 모델이 장착되어 있습니다. XY 스테이지에는 스테이지의 동작을 정확하게 제어하기 위해 직교 드라이브 축 (orthogonal drive axes) 과 위치 인코더가있는 DC 모터가 있습니다. XY 단계의 마이크로 메트릭 해상도는 X축의 경우 4um, Y축의 경우 4um과 같으며, 절단시 정밀도가 높습니다. 자동화된 정렬 장비 (automated alignment equipment) 를 집단단위로 독립적으로 조정하거나 애플리케이션에 따라 수동으로 조작할 수 있습니다. 정렬 시스템은 레이저 (laser) 와 가이드 프로젝터 (guide projector) 로 구성되어 있으며 기판에 fiducial 마크와 대상을 투영 할 수 있습니다. 자동 정렬 장치 (automatics alignment unit) 는 레이저 및 XY 스테이지와 연결되어 컷의 정확성을 보장합니다. 전체 DISCO DFD6360 머신은 다양한 고유한 기능을 갖춘 고성능, 신뢰성 있는 스크리빙/다이빙 툴입니다. 다양한 기판에 대한 다양한 스크리빙 및 다이빙 (dicing) 애플리케이션에 이상적입니다. 자산의 정밀도는 품질 역학 (Quality Mechanics), 레이저 광학 (Laser Optics), XY 포지셔닝 (XY Positioning) 및 자동 정렬 (Automated Alignment) 모델의 사용을 통해 보장됩니다.