판매용 중고 DISCO DAD 341 #9383434

ID: 9383434
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Dicing saw, 8" Non-contact height sensor with blade breakage detector Air: Supply pressure: Range: 0.5-0.6 MPa (5.0-6.0 kgf/cm²) Variation: 0.01 MPa ( 0.1 kgf/cm²) Degree of filtration: 0.00001 mm / 99.5% or higher Residual oil content: 0.1 ppm Atmospheric dew point: -15°C or lower Connection port: Rc (PT) 1/4" Female Maximum consumption: 162 L/min (ANR) (150NL/min) Water: Wheel coolant water: Pressure: 0.3 MPa (3.0kgf/cm²) Variation: 0.01MPa ( 0.1kgf/cm²) Water temperature: Room temperature: +2°C Variation: Within 1°C Connection port: Rc (PT) 1/4" Female Flow rate setting range: 0.2-4.0 L/min Spindle coolant water: Pressure: 0.3 MPa (3.0 kgf/cm²) Variation: 0.02 MPa (0.2 kgf/cm²) Water temperature: Variation: within 1°C Connection port: Rc (PT) 1/4" Female Consumption: 1.5L/min Water drainage: Connection port: Duct hose, 32 mm ID Duct: Exhaust capacity: 5.0m³/min Connection port: Duct hose, 75 mm ID X-Axis: Maximum stroke: 445 mm Cutting range: 210 mm Work piece width: 0"-8" (0-203, 2 mm) Operating speed: 0.1 - 400 mm/sec Step: 0.0001 mm Wafer diameter, 8" Y-Axis: Maximum stroke: 210 mm Cutting range: 210 mm Work piece width: 0"-8" Step: 0.0001 mm Maximum rotating angle: 380° Spindle section: Output: 1000 W Rotating range: 6000-60000 RPM Diameter, 2" Hub-type blade: 48 M-Type falnge: 49 M-Type falnge: 49.4 Microscope section: Single objective lens microscope Magnification: 5x Accuracy section: Chuck table upper surface: 0.005 mm / 125 mm 0.006 mm / 150 mm 0.008 mm / 200 mm Water used: Cooling with DI Water Flow rate: 0.2 - 4.0 l/min Wheel coolant water flow switch (Blade cooler) Blade breakage detector: 10000-60000 RPM/min Noise level: Less than 2,000 V at a pulse width of 500 ns (Square wave) Power requirements: 200 VAC 10%, 50/60 Hz, 3 Phase Maximum power: 3.5 kVA Spare parts: Flanges Dicing blades 2000 vintage.
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