판매용 중고 DISCO DAD 341 #9383434
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ID: 9383434
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Dicing saw, 8"
Non-contact height sensor with blade breakage detector
Air:
Supply pressure:
Range: 0.5-0.6 MPa (5.0-6.0 kgf/cm²)
Variation: 0.01 MPa ( 0.1 kgf/cm²)
Degree of filtration: 0.00001 mm / 99.5% or higher
Residual oil content: 0.1 ppm
Atmospheric dew point: -15°C or lower
Connection port: Rc (PT) 1/4" Female
Maximum consumption: 162 L/min (ANR) (150NL/min)
Water:
Wheel coolant water:
Pressure: 0.3 MPa (3.0kgf/cm²)
Variation: 0.01MPa ( 0.1kgf/cm²)
Water temperature:
Room temperature: +2°C
Variation: Within 1°C
Connection port: Rc (PT) 1/4" Female
Flow rate setting range: 0.2-4.0 L/min
Spindle coolant water:
Pressure: 0.3 MPa (3.0 kgf/cm²)
Variation: 0.02 MPa (0.2 kgf/cm²)
Water temperature:
Variation: within 1°C
Connection port: Rc (PT) 1/4" Female
Consumption: 1.5L/min
Water drainage:
Connection port: Duct hose, 32 mm ID
Duct:
Exhaust capacity: 5.0m³/min
Connection port: Duct hose, 75 mm ID
X-Axis:
Maximum stroke: 445 mm
Cutting range: 210 mm
Work piece width: 0"-8" (0-203, 2 mm)
Operating speed: 0.1 - 400 mm/sec
Step: 0.0001 mm
Wafer diameter, 8"
Y-Axis:
Maximum stroke: 210 mm
Cutting range: 210 mm
Work piece width: 0"-8"
Step: 0.0001 mm
Maximum rotating angle: 380°
Spindle section:
Output: 1000 W
Rotating range: 6000-60000 RPM
Diameter, 2"
Hub-type blade: 48
M-Type falnge: 49
M-Type falnge: 49.4
Microscope section:
Single objective lens microscope
Magnification: 5x
Accuracy section:
Chuck table upper surface:
0.005 mm / 125 mm
0.006 mm / 150 mm
0.008 mm / 200 mm
Water used:
Cooling with DI Water
Flow rate: 0.2 - 4.0 l/min
Wheel coolant water flow switch (Blade cooler)
Blade breakage detector: 10000-60000 RPM/min
Noise level: Less than 2,000 V at a pulse width of 500 ns (Square wave)
Power requirements: 200 VAC 10%, 50/60 Hz, 3 Phase
Maximum power: 3.5 kVA
Spare parts:
Flanges
Dicing blades
2000 vintage.
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