판매용 중고 ZEISS ZBA21 #9108115
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ID: 9108115
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1990
Electron beam lithography system, 6"
Pattern generator
Gun: LaB6
Acceleration voltage: 20 keV
Shot size: Variable shaped rectangular shape, 100×100 nm2 up to 6.3×6.3 µm2
Beam current: 1-2 A/cm2
Interferometric laser stage
Magazine loadlock chamber for (10) substrates
Substrate size: up to 7" square (photo plates)
Turbomolecular pump
Operation and maintenance manuals included
1990 vintage.
ZEISS ZBA21 (ZEISS ZBA21) 은 고해상도 이미징 및 분석과 데이터 샘플을 수집하기위한 빠르고 효율적인 프로세스를 결합한 스캐닝 전자 현미경입니다. 이 장비 는 전자 "칼럼 '을 사용 하여" 샘플' 표면 을 매우 상세 히 표현 하기 위하여 "샘플 '에서 방출 되는 전자 의 탐지 를 통하여 표본 의" 이미지' 를 만든다. ZEISS ZBA 21의 고해상도 이미징 (high resolution imaging) 기능을 통해 나노미터 크기의 구조를 관찰 할 수 있습니다. 이는 결정질 구조의 분석이나 나노텍 재료 연구와 같은 응용에 매우 중요합니다. ZBA21 스캐닝 전자 현미경에는 안정적이고 안정적인 이미징 성능을 보장하는 고급 전자 기둥 (Advanced Electron Column) 디자인이 장착되어 있습니다. 이 열에는 필라멘트 (filament) 와 전자를 안내하고 초점을 맞추는 데 도움이되는 멀티 렌즈 시스템 (multi-lens system) 을 포함한 여러 컴포넌트가 장착되어 있습니다. 이것은 샘플의 전자 이미지가 매우 상세하고 정확해질 수 있음을 보장합니다. ZBA 21은 무기 화합물, 반도체, 생물학적 샘플을 포함한 다양한 물질을 이미징 할 수 있습니다. 이는 가속 전압 (Accelerating Voltage) 과 빔 전류 레벨 (Beam Current Level) 의 폭이 넓기 때문에 이미지의 해상도와 필드 깊이 (Depth of Field) 를 제어하도록 조정할 수 있습니다. ZEISS ZBA21 (ZEISS ZBA21) 은 또한 다양한 샘플 크기를 사용하여 작업 할 수 있으며, 작은 구조의 특성에 대한 연구에 적합합니다. ZEISS ZBA 21 (ZEISS ZBA 21) 은 스캐닝 전송 전자 현미경을 포함하여 여러 이미지 획득 모드를 제공하며, 이는 울트라 틴 샘플을 통해 전송 된 전자를 이미징하여 이미지를 만듭니다. 역 산란 전자 영상 (backscattered electron imaging) 은 샘플 표면에서 2 차 전자를 검출하여 이미지를 생성한다; 샘플 표면에서 2 차 전자를 검출하여 이미지를 생성하는 2 차 전자 영상 (secondary electron imaging). 이를 통해 광범위한 실험과 연구가 가능합니다. 또한 ZBA21 은 고급 데이터 처리 기능을 제공하므로, 이미지를 신속하게 분석하여 샘플의 속성을 평가할 수 있습니다. 여기에는 크기 및 모양 측정, 화학 조성 매핑 및 기타 분석 기능이 포함됩니다. 안전성 측면에서 ZBA 21 장치는 강력한 차폐로 설계되어 조사 대상 샘플에서 방출 된 2 차 전자 또는 x- 레이 노출 위험을 최소화합니다. 또한, 기계에는 샘플 오염 위험을 줄이고 현미경이 안전한 압력 범위 내에서 작동하도록 설계된 다단계 압력 제어 도구 (multi-level pressure control tool) 가 있습니다. 전반적으로, ZEISS ZBA21 스캐닝 전자 현미경은 고해상도 이미징, 효율적인 처리, 여러 가지 고급 안전 기능을 결합하여 광범위한 고급 샘플 분석 및 연구 (advanced sample analysis and research) 를 지원하는 고급적이고 신뢰할 수있는 도구입니다.
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