판매용 중고 PHILIPS / FEI XL 855 Altura #122396
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ID: 122396
웨이퍼 크기: 6"-12"
빈티지: 1999
Dual ion beam system, 6"-12"
Sidewinder ion column
Beam current: 20 nA
SFEG SEM: 3 nm Schottky FEG
Resolution: 3 nm at low kV
Chamber loadlock
Multiple detector modes
(2) Gas injectors
EDAX EDS system
Magnum
Operating system: Windows XP
2 GIS
EDX
Stage, 8"
Stage tilt: 52°
EDWARDS QDP40 Dry pump
TEM Sample extraction
Immersion lens
1999 vintage.
PHILIPS/FEI XL 855 Altura는 높은 처리량, 고성능 이미징 및 분석을 위해 만들어진 SEM (Scanning Electron Microscope) 입니다. 웨이퍼 및 샘플 이미징 응용 프로그램 모두에 뛰어난 성능을 제공합니다. 고급 하드웨어와 소프트웨어를 사용하면 탁월한 이미지 해상도, 빠른 이미지 캡처, 정확한 분석 등을 기대할 수 있습니다. FEI XL 855 알투라 (Altura) 는 160mm 대형 챔버와 샘플 단계에서 기울기 및 회전 동작을 수용하여 이미징 및 분석의 정확성을 향상시키는 기능을 갖추고 있습니다. 현미경에는 위상 대비 이미징 모드에서 초고속 이미징이 가능한 고해상도 디지털 디터딩 필드 에너지 필터 (Digital Retarding Field Energy Filter) 가 있습니다. 또한 PHILIPS XL 855 Altura에는 최대 5 축 제어 및 epi-illumination 및 semi-transparent back-illumination을 포함한 다양한 광학 모드를 갖춘 고급 광학 시스템이 있습니다. 현미경의 검출기는 3D 이미징, 낮은 kV 이미징 및 ptychography에 대한 뛰어난 명암과 해상도를 제공합니다. 또한 특허를받은 저 진공 SE 이미징 모드는 샘플 손상을 최소화하고 이미지 아티팩트를 최소화하는 데 도움이됩니다. 이 설계에는 시각적, 예측 적 적응 초점 컨트롤러, 여러 위치를 통한 완전 자동 이동, 이미지 해상도, 명암비 및 밝기를 제어하는 IST (Imaging System Technology) 소프트웨어가 포함되어 있습니다. XL 855 Altura의 다른 기능으로는 cryo 표본을위한 CryoPrep 샘플 로딩 옵션, 여러 이미지의 자동 스티칭, 다중 채널 교육 모드, 공랭식/수냉식 전자 기둥, 무제한 이미징 매개 변수, 2 개의 빔 형성 광학 및 자동 교정 모드. 이러한 기능 등으로, 사용자는 뛰어난 이미징 해상도와 이미징 정확도를 기대할 수 있습니다. 전반적으로 PHILIPS/FEI XL 855 Altura는 강력한 이미징, 분석 및 제어 기능을 제공하는 고급 Scanning Electron Microscope입니다. 고급 디지털 Retarding Field Energy Filter, 비주얼 및 예측 적응 포커스 컨트롤러, IST 소프트웨어를 사용하면 뛰어난 해상도, 아티팩트 최소화, 자동 역학을 기대할 수 있습니다.
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