판매용 중고 KLA / TENCOR EV200 #9224227
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ID: 9224227
웨이퍼 크기: 12"
Defect review SEM, 12"
No robots
Parts included:
BROOKS Controllers
Computer
Power supply unit
Leadscrew
(2) Load stations.
KLA/TENCOR EV200은 다양한 샘플 재료의 고해상도 이미징을 위해 설계된 고급 스캐닝 전자 현미경 (SEM) 입니다. KLA EV200 의 이미징 (Imaging) 및 분석 (Analytical) 기능은 사용자에게 탁월한 수준의 세부 사항을 제공하여 샘플의 물리적, 화학적 특성을 더 잘 이해함으로써 귀중한 통찰력을 해제하고 보다 자세한 의사 결정을 내릴 수 있습니다. 텐코 에브 200 (TENCOR EV200) 은 직경이 최대 30mm 인 샘플을 지원할 수있는 대형 챔버를 특징으로하여 크고 복잡한 구조를 관찰 할 수 있습니다. 이 기기의 고급 광학 시스템은 가변 각도 SEM 이미징을 사용하여 사용자에게 25X ~ 360X 범위의 다양한 시야를 제공합니다. 또한, 통합 EDX 검출기는 샘플을 외부 시스템으로 수동으로 전송하지 않고 정밀한 원소 분석을 허용합니다. EV200은 20 keV에서 30 nm (30 nm) 의 안정적이고 고해상도 스팟 해상도를 가진 측면 진입 총을 포함합니다. 이를 통해 빔 배출 제어 (beam emittance control) 와 뛰어난 감도 (exceptional sensitivity) 를 통해 최고의 정확도와 정밀도로 이미징을 구현할 수 있습니다. 또한, 고유한 행 열 주소 지정 시스템을 통해 스캐닝 시간을 대폭 줄이고 이미징 오류를 줄일 수 있습니다. KLA/TENCOR EV200 은 다양한 데이터 관리 기능을 갖추고 있어 쉽게 결과를 분석하고 이미지를 효율적으로 공유할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스를 통해 샘플을 3 차원으로 쉽게 조작하여 엄청나게 복잡한 구조를 이해할 수 있습니다 (영문). 이 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 특정 사용자 요구 사항에 맞게 조정될 수 있으므로 사용자 정의 및 적응성이 향상됩니다. 직관적인 운영 및 고급 이미징 기능 덕분에 KLA EV200은 재료 과학, 나노 기술, 반도체 등 다양한 과학 분야의 연구, 측정, 분석에 이상적인 도구입니다. TENCOR EV200 (TENCOR EV200) 은 탁월한 기능을 통해 물리적 특성, 신속한 운영 제어, 향상된 예측 기술을 더욱 심층적으로 파악하여 실험실의 생산성 및 효율성을 높일 수 있습니다.
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