판매용 중고 KLA / TENCOR ECD-2 #9269028
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ID: 9269028
빈티지: 2005
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM)
2005 vintage.
KLA/TENCOR ECD-2는 반도체 제조업체 및 연구 실험실을 위해 업계 최고의 성능을 제공하는 고해상도 스캐닝 전자 현미경 (SEM) 입니다. 뛰어난 처리량과 저소음의 고해상도 이미징 기능을 제공하도록 설계되었습니다. KLA ECD2는 넓은 온도 범위에서 매우 안정적이고 정확한 구형 열 디자인을 사용합니다. 따라서 SEM은 초고해상도 이미징에 적합합니다. 고급 2 차 전자 이미징 및 x- 선 분광법 (X-ray Spectrometry System) 을 사용하면 정밀도가 높은 기능을 시각화하고 분석 할 수 있습니다. 또한, 자동화된 단계를 통해 사용자는 이미징 영역 사이를 빠르게 이동할 수 있습니다. TENCOR ECD 2는 고급 충돌 유도 분리 기능을 사용하여 낮은 원자 번호 (Atomic Number) 재료의 정확성과 해상도를 높입니다. 이를 통해 갈륨 비소 (GaAs) 및 다른 반도체 화합물을 높은 해상도로 분석 할 수 있습니다. 이것은 고급 반도체 제조 프로세스에 필수적입니다. KLA/TENCOR ECD 2에는 1 나노 미터만큼 작은 선 너비를 감지 할 수있는 자동 측면 벽 검사 기능이 있습니다. 이를 통해 SEM은 현재 반도체 기술을 분석하는 데 필수적인 도구입니다. 또한, 마이크로 스케일 재료 분석 기능은 프로세스 기술에 대한 빠르고 경제적인 평가를 촉진합니다. KLA ECD-2의 결합 된 전자 광 기능은 안정적이고 강력한 이미징 시스템입니다. 디지털 신호 처리 시스템은 이미징 데이터의 해상도를 향상시킵니다. 이를 통해 TENCOR ECD-2는 이전보다 더 빠르게 고해상도 이미지를 캡처할 수 있습니다. KLA/TENCOR ECD2에는 쉽게 작동할 수 있는 사용자 친화적 인 인터페이스가 있습니다. 진공시스템 (vacuum system) 은 SEM의 올바른 작동에 필요한 환경을 제공하기 위해 제작되었습니다. 또한, KLA ECD 2에는 최고의 이미지 품질을 보장하기 위해 공기 펌프 및 습도 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 결론적으로, ECD2는 반도체 제조업체 및 연구 실험실을 위해 업계 최고의 성능을 제공하는 고해상도 SEM (고해상도 SEM) 입니다. 고급 2 차 전자 이미징 및 x- 선 분광법 시스템 (X-ray spectrometry system) 은 사용자가 피쳐를 정확하게 분석 할 수있는 반면, 자동 측벽 검사 기능을 통해 현재 반도체 기술을 분석 할 수 있습니다. 또한, 사용자 친화적 인 인터페이스와 내장형 온도, 진공 및 습도 조절 시스템을 통해 이상적인 이미징 툴이 됩니다.
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