판매용 중고 KLA / TENCOR 8100XP #9286582
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ID: 9286582
빈티지: 1998
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), parts system
Computer
DELL Precision work station
Dual core processor
Raid array: (2) Drives
Operating system: Windows NT 4.0
Cassette stations, 5"-8"
PRI Robot
With class 1 wafer scanner
Prealigner electron column
E Column electron source
Scintillator detector
Energy filter: (2) Wein filter apertures
1998 vintage.
KLA/TENCOR 8100XP 스캐닝 전자 현미경 (SEM) 은 최신 수준의 아트 모델로, 고해상도 이미징 및 정확한 분석 기능을 제공합니다. 이 스캐닝 전자 현미경은 반도체 고장 분석 및 샘플 검사에서 X- 선 EDS를 사용한 비파괴 테스트에 이르기까지 광범위한 응용에 이상적입니다. KLA 8100XP는 자동 반도체 결함 검사 장비입니다. 이 시스템은 최대 0.5 미크론 해상도에서 샘플의 고해상도 이미지를 캡처할 수 있습니다. 보조 전자와 즉각적인 X-Y 스캔을 모두 사용합니다. 또한 통합 된 Energy Dispersive Spectrometer를 통해 구성 및 지형 데이터를 수집 할 수 있습니다. 이 장치는 낮은 kV 어플리케이션을 위한 향상된 옵틱 (optic) 기능을 제공하여 다양한 분야와 어플리케이션에 뛰어난 화질을 제공합니다. 재료 분석을 위해, TENCOR 8100 XP는 원소 조성을 정확하게 나타내는 백-흩어져있는 전자와 2 차 전자의 조합을 통합한다. KLA/TENCOR 8100 XP는 결함 위치, 컴포지션, 크기, 모양 및 형상에 대한 정보를 제공하여 품질 관리 프로세스의 생산성을 높이도록 설계되었습니다. 제품 리서치 (Research) 및 제조 프로세스 (Manufacturing Process) 가 최고 수준의 품질에 도달하도록 신속하게 결함을 캡처 및 분석할 수 있는 간편한 인터페이스를 제공합니다. TENCOR 8100XP는 쉽게 작동할 수 있습니다. 여러 가지 자동화 기능이 장착되어 있어 데이터를 신속하게 수집하고, 수작업 (manual adjustment) 에 많은 시간이 소요되지 않는 의미있는 분석 기능을 제공합니다. 또한, 고급 이미지 분석 소프트웨어 (advanced image analysis software) 는 개별 결함의 진화와 성장을 추적하기 위해 여러 샘플의 데이터를 비교하는 데 사용될 수 있습니다. 기본 재료 분석을 위해 KLA 8100 XP는 원소 라인 스캔 및 스팟 분석을 생성 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 자동 드리프트 수정 및 자동 스테이지로 더 높은 수준의 응용 프로그램을 수행 할 수 있습니다. 8100XP는 고급 여과 기능 (advanced filtration capability) 과 통합되어, 방사선 노출에 특히 민감한 샘플에 대한 높은 수준의 스캔 안정성을 가질 수 있습니다. 온보드 진공 도구 (Integrated Vacuum Tool) 는 시료 오염이나 광학 소재 구축이 불가능한 탁월한 화질을 위한 깨끗한 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 8100 XP 는 KLA 시스템과의 통합을 통해 구성 요소 및 수리를 지속적으로 분석할 수 있으므로, 장기간에 걸쳐 생산성을 최적화할 수 있습니다. 이 자산은 고급 이미징 기능, 향상된 해상도, 자동화된 기능, 사용자 친화적 인터페이스 등으로 인해 반도체 장애 분석에 적합합니다.
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