판매용 중고 KLA / TENCOR 8100XP #9225281
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ID: 9225281
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 8"
Load ports: ASYST-3LP
Standard chuck
Etch module
Copper process
CE Marked
2000 vintage.
KLA/TENCOR 8100XP는 나노 스케일 해상도까지 표면의 고해상도 이미지를 제공하도록 설계된 SEM (Scanning Electron Microscope) 입니다. 이 장비에는 해상도를 최대화하기 위해 하이퍼-디텍터 (hyper-detector) 와 렌즈 (in-lens) 검출기가 장착되어 있습니다. 시스템의 해상도는 2 차 전자 모드에서 2.0 나노 미터, 역 산란 전자의 경우 4.0 나노 미터에 도달 할 수 있습니다. KLA 8100XP는 안정적이고 고급 샘플 스테이징 및 매핑 기술인 SampleID 단계를 특징으로합니다. X-Y 스캔 영역, Z축 이동, 기울기 기능 및 자동 초점이 가능합니다. TENCOR 8100 XP에는 2 차 전자 및 백스캐터링 된 전자를 포함하여 고해상도 이미지를 캡처하도록 설계된 이미징 장치가 있습니다. 이 기계에는 에너지 분산 분광법을위한 EDS 도구도 포함되어 있습니다. 이 장치 는 원소 를 기초 로 한 물질 을 구별 하고, 표면 의 화학적 조성 을 특징 짓도록 도와 주는 데 사용 될 수 있다. 또한, 8100 XP는 다양한 압력에서 분석 할 수있는 통합 가변 압력 SEM (variable-pressure SEM) 과 절연 및 유기 물질 분석을위한 저진공 옵션을 특징으로합니다. KLA/TENCOR 8100 XP의 광학 자산은 렌즈 내 검출기와 고해상도 이미징을 일관되게 제공하는 고리 형 검출기를 갖추고 있습니다. 모델의 8 인치, 정사각형 진공실은 더 큰 샘플 크기를 쉽게 수용 할 수 있습니다. 이미징에 대한 꾸준한 기준을 제공하는 자동 초점 (auto-focus) 및 자동 스티그메이션 (auto-stigmation) 기능이 장착되어 있습니다. 이 장비는 광범위한 이미지 조작 기능을 갖춘 Windows 기반 소프트웨어 플랫폼에 의해 구동되고 운영됩니다. KLA 8100 XP는 신뢰할 수 있고 매우 정밀한 스캐닝 전자 현미경으로, 사용자가 나노 스케일 해상도의 이미지를 캡처 할 수 있습니다. 통합 샘플 스테이징 기술 (Sample Staging Technology) 과 독보적인 이미징 기능은 연구자와 엔지니어에게 다양한 재료 표면의 구성과 구조를 조사하고 매핑하는 데 필요한 도구를 제공합니다. 이 시스템은 나노 스케일 재료 분석 및 고해상도의 이미징에 적합합니다.
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