판매용 중고 KLA / TENCOR 8100 #9377283

KLA / TENCOR 8100
ID: 9377283
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 8".
KLA/TENCOR 8100은 재료 특성, 고장 분석, 웨이퍼 검사 등 다양한 이미징 및 분석 응용을 위해 설계된 주사 전자 현미경 (SEM) 입니다. 이 제품은 넓은 분야에 걸쳐 나노미터 이하의 해상도 (sub-nanometer resolution) 가 가능하여 고급 연구 및 산업 응용 분야에 이상적인 도구입니다. KLA 8100에는 고해상도 SE-SEM 검출기가 장착되어 있어, 감지 감도 및 해상도 향상과 함께 고대비 이미징 기능을 제공합니다. 이 검출기는 또한 광시야각 (wide field of view) 과 빠른 스캔을 위한 롤링 프레임 스캔 기능을 갖추고 있습니다. 이 검출기는 고급 이미징을위한 고해상도 핀홀 빔과 연결됩니다. SEM의 주요 스캔 및 이미징 기능은 포지셔닝, 확대, 초점, 해상도, 빔 에너지 등 다양한 샘플 매개변수를 제어하는 멀티 컬러 디지털 디스플레이 시스템 (multicolor digital display system) 으로 구동됩니다. SEM은 또한 정량적 EDX (Energy-distersive X-ray spectrum analysis), 요소 매핑, 이미지 산술 및 BSE (backscattered electron) 이미징과 같은 다양한 분석 기능을 제공합니다. TENCOR 8100에는 다양한 이미징 (imaging) 및 분석 (analysis) 작업의 요구 사항을 충족하도록 설계된 다양한 샘플 기능 설정이 있습니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphic User Interface) 를 통해 쉽게 작동할 수 있으며, 이를 통해 연산자는 마우스 몇 번의 클릭으로 매개변수를 선택할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 광범위한 자동 이미징 및 분석 기능을 제공합니다. 이 SEM은 높은 진공 사용에 민감한 샘플에 대해 낮은 진공 작동을 제공합니다. 또한 높이, 모양, 서피스 텍스처에 관계없이 예리한 샘플 이미지를 보장하는 3축 자동 초점 (auto-focus) 기능이 있습니다. 또한 8100 은 다양한 샘플 챔버 (sample chamber) 와 홀더 (holder) 와 함께 사용할 수 있는 유연성을 갖추고 있어 다양한 이미징 및 분석 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
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