판매용 중고 KLA / TENCOR 8100 #9292623
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ID: 9292623
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 1998
Critical Dimension Scanning Electron Microscopes (CD-SEM), 4"
Resolution: <4.5 nm
Electron source: Schottky, Thermal field emitter
Magnification: 2.34,000x - 400,000x
Stage: X-Y Leadscrew stage
Position accuracy: < 10 micron
Accelerating voltage: 0.4 kV - 1.5 kV
Throughput: Up to 40 wafers/hr
1998 vintage.
KLA/TENCOR 8100은 현장에서 가장 발전된 기술을 제공하는 고급 스캐닝 전자 현미경 (SEM) 입니다. 차세대 하이엔드 SEM (High-End SEM) 으로, 사용 편의성을 향상시키면서 연구 및 산업 응용프로그램에 뛰어난 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 클라이 8100 (KLA 8100) 은 다양한 기능과 기능을 갖추고 있어 과학자와 연구원 모두에게 귀중한 도구입니다. 즉, 처리량이 많은 이미징을 위한 자동 (automated) 플랫폼을 통해 다양한 샘플에서 데이터를 신속하게 수집할 수 있습니다. 또한 샘플 표면의 원소 분석에 사용될 수있는 뛰어난 에너지 분산 X- 레이 (EDX) 장비를 갖추고 있습니다. 이를 통해 사용자는 연구 중인 샘플의 구성을 정확하게 결정할 수 있습니다. TENCOR 8100은 DIS (Digital Imaging Stereography) 라는 새로운 디지털 이미징 시스템을 사용합니다. 이 장치에는 디지털 카메라, 스테퍼 모터 (stepper motor) 및 스테이지 스캐닝 메커니즘이 포함되어 있어 매우 정확한 위치 제어를 통해 고속 스캐닝이 가능합니다. DIS (DIS) 를 사용하면 샘플 서피스에서 미세한 피쳐를 자세히 검사할 수 있습니다. 8100 은 완전 자동화된 샘플 (sample) 조작 기능을 갖추고 있어 사용자 개입 없이 다른 작업을 수행할 수 있습니다. 선내 표본 조작 기계를 사용하면 다른 각도에서 스캔하기 위해 샘플을 빠르고, 쉽고, 첨부하고, 이동하고, 기울이고, 회전시킬 수 있습니다. 이를 통해 샘플의 완전한 3D 이미징 및 분석이 가능합니다. KLA/TENCOR 8100에는 다양한 환경 제어 기능도 있습니다. 즉, 다양한 환경 조건에서 사용할 수 있습니다. "펌프 '," 기화기' 및 습도 감지 기술 을 사용 하여 작업 하는 환경 을 정확 히 측정 할 수 있다. 이를 통해 사용자는 보다 정확한 이미징 및 분석을 위해 툴을 세밀하게 조정할 수 있습니다. 전반적으로, KLA 8100은 첨단 스캐닝 전자 현미경으로, 연구 및 산업 응용 프로그램 모두에 유익한 많은 기능을 제공합니다. 매우 정확한 이미징/분석 자산을 필요로 하는 사람들에게 탁월한 선택입니다.
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