판매용 중고 KLA / TENCOR 8100 #188124

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ID: 188124
CD SEM Version: 125-200 MM Resolution 3.4 to 3.6 nm at 600v Pipeline mode better than 90 wph, 3 sigma on 0.3 um line=0.3, Loadable wafer size 4.5 inch, 125 mm, 200 mm Operating system V7.6,8100 sw version 2.3.2 Stage precision 1.4 um in x and 1.6 um in Y Column Vacuum 1.5 x 10-7 Torr Chamber vac. 1.8 X 10-7 Torr Missing Metrofocus 1998 vintage.
KLA/TENCOR 8100은 과학자들이 요구하는 최고의 이미징 해상도 및 다재다능성에 최적의 성능을 제공하는 고급 스캐닝 전자 현미경 (SEM) 입니다. 광범위한 R&D (연구/제품 개발) 애플리케이션을 위한 최고의 유연성과 제어 기능을 제공합니다. 코어에서 KLA 8100 장비는 전자 기둥, 고출력 전자 소스, 디지털 이미지 감지 및 처리 시스템 세트로 구성됩니다. 전자 기둥은 현미경의 광학 및 영상 하위 시스템 역할을하며 2 개의 렌즈 (오브젝티브 렌즈 및 세미 아포크로마 렌즈) 를 포함합니다. 이러 한 "렌즈 '는 검사 하는 표본 의 면적 에 전자 를 집중 시키도록 설계 되었다. 오브젝티브 렌즈에는 렌즈의 확대 범위를 선택하는 조리개도 포함되어 있습니다. 전자원은 두 개의 모듈 (이온 총, 활기찬 전자원 제공) 과 필라멘트 가열 메커니즘으로 나뉩니다. 이온 건 (ion gun) 은 가스 제트 (gas jet) 를 사용하여 샘플의 특정 지점에 중점을 둔 고에너지 전자의 빔을 생성합니다. 필라멘트 가열 메커니즘은 전자의 에너지를 제어하고 이미지 대비를 안정화합니다. 이를 통해 TENCOR 8100은 뛰어난 명암과 해상도로 정확한 이미지를 얻을 수 있습니다. 8100 은 또한 "디지털 '영상 탐지" 시스템' 을 갖추었는데, 여러 가지 배율 로 표본 의 "이미지 '를 캡처 하고 처리 한다. 이미지를 캡처하기 위해 3 개의 채널 (기본, 중간 및 고급 채널) 을 조합하여 사용합니다. 기본 채널은 일반 이미징 어플리케이션, 저해상도 라인 스캔 (Line Scan) 을 수행하기 위한 중간 채널, 고해상도 이미지 캡처용 고급 채널을 위해 설계되었습니다. KLA/TENCOR 8100 (KLA/TENCOR 8100) 은 또한 노이즈 감소 장치 (Noise Reduction Unit) 를 특징으로하며, 여기서 획득한 이미지의 노이즈를 줄이기 위해 일련의 고속 컴퓨터 알고리즘을 사용합니다. 이 기계는 이미지 선명도를 유지하고, KLA 8100으로 찍은 영상 관측 품질을 향상시킵니다. 또한, TENCOR 8100은 가변 압력 연산 (variable pressure operation) 을 통해 사용자가 일반적으로 대기 압력에서 관찰해야 할 샘플을 사용할 수 있습니다. 즉, 8100은 자연 작동 조건에 훨씬 가까운 환경에서 샘플을 관찰하는 데 사용될 수 있습니다. 전체적으로 KLA/TENCOR 8100은 최고 수준의 이미징 성능과 다양한 기능을 제공하는 고급 SEM 툴입니다. 고해상도 이미징 기능, 가변 압력 동작 (variable pressure operation), 소음 감소 자산 (noise reduction asset) 을 통해 광범위한 연구 및 제품 개발 애플리케이션에 적합합니다.
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