판매용 중고 HITACHI S-5200 #9235454
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ID: 9235454
Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM)
Stage: Fully automatic
SE Detector
HITACHI FE Tip
(4) Barion ion pumps
NT340M Turbo pump
3 Axis motor stages (X, Y, Title) Z axis manual
Section holder
LCD Monitor
COMPAQ Deskpro EN
Trac ball joystick
Control panel
COMPAQ Keyboard
COMPAQ Mouse
Down transformer
No scroll pump
Specifications:
Resolution:
Accelerating voltage: 30 kV
Working distance: 4 mm - 0.6 nm
Accelerating voltage: 1 kV
Working distance: 1.5 mm - 2.5 nm
Magnification:
High magnification mode: 500x - 1000,000x
Low magnification mode: 30x - 2,000x
Electron optics:
Electron gun: Cold cathode field emission
Extracting voltage (Vext): 0 - 6.5 kV
Accelerating voltage (Vacc): 0.5 - 30 kV (in 100 V steps)
3-Stage electromagnetic lens, reduction type
Objective lens aperture: Movable aperture (4 Openings selectable / alignable outside column)
Self cleaning thin aperture
Astigmatism correction coil (Stigmator) type: Electromagnetic
Scanning coil type: 2-Stage electromagnetic deflection
Specimen stage:
S-5200 Motor stage
X Traverse: ± 3.5 mm
Y Traverse: ± 2 mm
Z Traverse: ± 0.3 mm
Tilt: ± 15°
Specimen size: 9.5 mm x 5 mm x 2.4 mmH (Diameter)
Display unit:
Photo CRT (Option): Ultra high resolution type (Effective field of view 120 × 90 mm)
Scanning modes: (Normal scan)
Reduced area scan
Line scan
Sport analysis
Average concentration analysis
Scanning speeds: TV (640x480 pixels display: 25 / 30 flames)
Fast (Full screen display: 25 / 30 flames/s)
Slow (Full screen display: 1/0.9, 4/3.3, 20/16, 40/32, 80/64 s/flame)
(640x480 pixels display: 0.5/0.4, 2/1.7, 10/8, 20/16, 40/32 s/flame)
Evacuation system:
Fully automatic pneumatic valve system
Ultimate vacuum level:
Specimen chamber: 7 x 10-4 Pa
Electron gun chamber:
IP-1: 1 x 10-7 Pa
IP-2: 2 x 10-6 Pa
IP-3: 7 x 10-5 Pa
Vacuum pumps:
Electron optical system: (3) Ion pumps
Specimen chamber: Turbo molecular pump
(2) Oil rotary pumps
(4) Compressors
Protection devices:
Power failure
Cooling water interruption
Inadequate vacuum
Operating system: Windows NT.
HITACHI S-5200은 높은 수준의 이미지 품질을 제공하는 주사 전자 현미경 (SEM) 입니다. 가변 압력 SEM (Variable Pressure SEM) 으로, 가공소재 외에 다양한 압력으로 작업할 수 있습니다. HITACHI S 5200에는 전자 빔을 생산하는 전자 총, 스캐닝 플랫폼이있는 표본 단계, 2 차 전자의 1 ~ 4 차 순서를 기록하는 검출기가 장착되어 있습니다. 또한 S-5200에는 기존 학습을위한 디지털 이미지 기록 장비와 컴퓨터 제어 고해상도 이미지 기록 시스템이 있습니다. 또한, 현미경은 이미지 캡처 및 처리 작업을 할 수 있습니다. S 5200의 표본 단계에는 표본 플랫폼을 지원하는 두 개의 열이 있습니다. 또한 XY 장치와 레이저 드리프트 모니터링 머신 (drift-monitoring machine) 이 있으며 시야를 고정시킵니다. 또한, 다양한 오브젝티브 렌즈를 HITACHI S-5200 용도로 사용할 수 있으며, 나노 미터 범위에서 뛰어난 이미지 선명도와 해상도를 제공합니다. HITACHI S 5200은 0.5kV ~ 200kV의 전자 가속 전압과 0.1nA ~ 2발의 프로브 전류를 가지고 있으며, 고해상도 이미징을 허용합니다. 또한 뛰어난 이미지 캡처를위한 다양한 검출기 장치 (예: CCD 및 SPAD 카메라) 가 있습니다. 또한 S-5200에는 고해상도 이미지를 캡처하고 저장하는 고해상도 디지털 이미지 기록 도구가 있습니다. 또한 S 5200에는 샘플 홀더, 이온 열, 이미지 분석 시스템, 스테이지 홀더 및 마이크로 미터 스테이지 드라이브 에셋과 같은 다양한 액세서리와 애드온이 제공됩니다. 이 액세서리와 애드온 (add-on) 은 현미경의 기능을 확장하고 샘플에 대한 보다 심층적인 뷰를 제공하는 데 사용될 수 있습니다. HITACHI S-5200은 강력하고 다재다능한 현미경으로, 반도체 고장 분석 (semiconductor failure analysis) 및 재료 과학 (material science) 과 같은 다양한 주사 전자 현미경 응용 분야에 적합합니다. 고해상도에서 뛰어난 화질을 제공하며, 정확하고 상세한 작업에 적합합니다.
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